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相同关键词【composite material substrate】论文列表

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微纳光学

纳秒激光刻蚀复合材料基金属薄膜机制研究

杨建平 ^*陈学康吴敢王瑞

作者单位

摘要

兰州物理研究所表面工程技术重点实验室，甘肃兰州 730000

通过分析激光脉冲作用于金属薄膜后的能量吸收及演化过程，提出了金属薄膜/复合材料组合体系在纳秒级脉冲激光作用下，因复合材料易气化的特性而存在的特有的薄膜/基底界面分离现象。提出利用这一特有的界面分离过程，可通过控制激光能量密度实现对这种结构体系的高精度、无损伤的刻蚀。利用波前衍射变换技术整形过的刻蚀激光进行了验证实验，实验结果证实了这一方法的可行性。

激光技术激光刻蚀金属薄膜复合材料基底物理机制

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中国激光

2011, 38(6): 0603031