1 中国科学院 上海光学精密机械研究所 光学薄膜技术研究与发展中心,上海 201800
2 中国科学院研究生院,北京 100039
3 中北大学信息与通信工程学院,山西 太原 030051
利用1-on-1损伤测试方法,测试了真空和空气、氧气、氮气、氦气环境下在波长为1064 nm处增透膜(ARF)的激光损伤阈值和损伤形貌。结果表明,真空环境下的损伤阈值明显低于大气环境下的损伤阈值,真空环境下的破斑形貌也与大气环境下的破斑形貌有显著差异。在真空环境下存入一定量的氧气、氮气和氦气后薄膜的损伤阈值都得到提高,但存入的气体的种类及气压不同,损伤阈值与破斑形貌也不尽相同。
薄膜 增透膜 环境气氛 激光损伤阈值 损伤形貌
