长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
基于倍频反射膜的设计理论，结合膜系设计软件实现了多波段激光腔面高反射膜的设计。在制备过程中，基于最小二乘法原理建立了残余蒸镀量与膜层厚度之间的关系式，解决了膜厚控制误差累积导致薄膜光谱性能变差的问题。制备的薄膜在457 nm和914 nm波长处的反射率分别为99.9%和99.6%，在808，1064，1342 nm波长处的透射率分别为97.2%、96.8%和93.1%，满足457 nm激光器的使用要求。
薄膜 腔面高反射膜 倍频反射 膜厚控制 最小二乘法 中国激光
2018, 45(11): 1103001
