中国计量大学光学与电子科技学院, 浙江 杭州 310018
通过建立原子层沉积(ALD)脉冲气体流场理论模型,分析了沉积过程中前驱体浓度的变化趋势,得到了原子层沉积腔中的优化沉积区域。在此基础上,开展了半球基底上Al2O3和TiO2薄膜的均匀性实验。实验结果表明, 最佳优化区域内Al2O3和TiO2薄膜的最大非均匀性分别为1.81%和1.74%,相比于非优化区域分别减小了47.1%和50.8%。当入射激光与半球中心轴的夹角为θ=0°时,制备的减反膜反射率在550 nm处达到最小值0.04%,θ=60°时反射率最大,为0.5%,而在其余位置反射率曲线均存在不同程度的偏移,当θ=60°时,偏移最大,为6 nm。
薄膜 原子层沉积 流场分析 均匀性 大曲率基底 激光与光电子学进展
2018, 55(3): 033101
