作者单位
摘要
天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,天津,300072
提出了一种应用晶体光学原理的新型物体几何形貌检测方法,介绍了新方法涉及到的晶体偏光干涉的原理,以及基于这个原理的形貌信号检测方法,并通过实验得到新方法的测量精度约为5 μm,测量范围约为7 mm,且具有较好的动态特性.
晶体双折射 偏光干涉 光学非接触测量 
光学学报
2002, 22(4): 452

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!