吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区, 吉林 长春 130012
基于聚合物材料的波导型电光器件对提升光通信网络的带宽容量具有重要的意义。设计并制备了一种基于有机/无机杂化非线性材料的准矩形聚合物电光波导，采用SiO2作为下包层，紫外胶SU-8作为引导芯层，掺有生色团DR1的有机/无机杂化非线性材料DR1/SiO2-TiO2作为电光层，通过优化感应耦合等离子体刻蚀工艺的天线功率、偏置功率和氧气流量，将SU-8同时作为引导芯层和刻蚀工艺的掩模，制备了准矩形电光波导。实验测得波导传输损耗为-3.5 dB/cm。
非线性光学 准矩形波导 感应耦合等离子体刻蚀 光学学报
2012, 32(12): 1225001
