武汉理工大学光纤传感技术国家工程实验室, 湖北 武汉 430070
为了研究超声振动对飞秒激光微加工的影响，设计超声辅助装置，进行石英光纤材料的微结构加工试验。探讨不同功率的超声振动对材料加工表面质量及孔深的影响，明确超声辅助飞秒激光加工的作用机理。引入超声振动后，光纤侧面烧蚀的矩形槽壁面更为平整，残留碎屑明显减少，槽或孔的深度有所增加；在超声功率为30 W 时，孔的锥度由7.34°减小到4.17°。结果表明，超声振动能有效改善材料加工表面质量，增加加工孔的深度，提高飞秒激光的加工效率，证明超声振动对飞秒激光加工具有明显的改善作用。
激光光学 飞秒激光 微加工 超声振动辅助 表面质量
