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   将选定结果: 

 电阻法测试超薄膜厚度的研究

万晓枫 刘爽 何存玉

[摘要]常规方法测试超薄膜的厚度存在很大困难。介绍一种测试约4nmPtSi厚度的电阻率法。先制备厚度约40nm的薄膜, 测试出薄膜电阻率, 再考虑超薄膜的表面效应、尺寸效应, 推导出超薄膜电阻率与薄膜电阻率的关系式, 测试超薄膜...

 PDF全文半导体光电 | 2012, 33(04):537-539

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