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 共振隧穿弱光探测器的分子束外延生长条件优化

董宇 王广龙 倪海桥 陈建辉 乔中涛 裴康明 李宝晨 牛智川

[摘要]对一种共振隧穿弱光探测器的分子束外延生长条件进行了研究。对探测器结构进行设计,研究了不同Al束流和不同生长温度下In0.52Al0.48As 材料的生长质量,结合X 射线衍射及原子力显微镜测试结果确定了In0.52Al0.48As 材...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(08):0817001

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