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 Mirau型干涉显微物镜干涉平板装配误差容限分析

胡捷 袁群 于颢彪 王帅 孙一峰 高志山

[摘要]针对Mirau型干涉显微物镜中干涉平板的装配误差问题,建立了参考板倾斜时的干涉光强表征模型,通过对光瞳面内测试光束和参考光束的分割,求解参考板倾斜时干涉光强的积分表达形式,通过数值计算定量分析参考板倾斜度对干涉...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(09):0904001

 微球透镜超分辨显微成像与检测技术综述

徐 伟 袁 群 高志山 于颢彪 孙一峰 屈 艺

[摘要]受衍射极限的影响, 传统光学显微镜的分辨率最高约为波长的一半, 突破衍射极限, 获得更高的成像分辨率是近年来显微成像领域的研究热点。相比于其他超分辨显微成像方式, 基于微球透镜的超分辨显微成像方式具有简单直接...

 PDF全文应用光学 | 2019, 40(06):1139

 三维微结构显微干涉检测方法

高志山 孙一峰 于颢彪 袁 群

[摘要]三维微结构在光陷阱、隐身与光场调控、超高压密封、人工生物材料等领域具有重要的应用价值。三维微结构的加工制造方法, 包括激光直写、光刻、电子与化学蚀刻等先进制造方法发展迅速, 其检测仪器有扫描电镜(SEM)、原子...

 PDF全文电光与控制 | 2019, 26(11):1

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