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 Mirau型干涉显微物镜干涉平板装配误差容限分析

胡捷 袁群 于颢彪 王帅 孙一峰 高志山

[摘要]针对Mirau型干涉显微物镜中干涉平板的装配误差问题,建立了参考板倾斜时的干涉光强表征模型,通过对光瞳面内测试光束和参考光束的分割,求解参考板倾斜时干涉光强的积分表达形式,通过数值计算定量分析参考板倾斜度对干涉...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(09):0904001

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