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 基于飞秒激光时空聚焦技术的三维微纳加工

井晨睿 王朝晖 程亚

[摘要]介绍飞秒激光时空聚焦技术的基本原理,回顾了该技术在改善飞秒激光加工的分辨率、抑制加工过程中的非线性效应以及提高材料加工质量等方面的应用。重点讨论了脉冲前沿倾斜(PFT)、光强平面倾斜等时空聚焦飞秒激光脉冲的...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(04):040005

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