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 深紫外光刻投影物镜的三维偏振像差

贺文俊 贾文涛 冯文田 郑 阳 刘智颖 付跃刚

[摘要]深紫外光刻投影物镜是光刻机的核心部件, 然而无论是照明光场偏振态的空间分布, 还是光刻投影物镜自身的偏振像差都将改变光束的紧聚焦特性, 对成像质量造成不可忽略的影响。基于三维琼斯矩阵, 把偏振像差函数推广到三...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(08):0818006

 反射表面微变形的改进型龙虾眼透镜

赵玄 欧阳名钊 付跃刚 赵雨石 张贺 崔启胤 刘雪元

[摘要]龙虾眼透镜作为一种特殊的透射式反射聚焦元件, 在X射线等高能领域具有重要的应用价值, 并在可见光、红外波段具有潜在的应用前景。为提高龙虾眼透镜的成像质量, 从理论方面分析了变周期闪耀光栅的衍射干涉因子以及衍射...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(03):0310002

 仿生复眼成像系统角度误差

田钰麒 高天元 赵宇 付跃刚

[摘要]为了实现仿生复眼成像系统的误差分析, 介绍了一种误差分析的方法。建立了数学模型, 通过找出坐标系的基底转换矩阵实现大地坐标和以子眼为原点的坐标系之间的转换, 推导出当仿生复眼工作时其旋转角度与各参量之间的数...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(03):0310001

 紧凑型中波红外成像系统无热化设计

李瑞瑶 付跃刚 刘智颖

[摘要]红外成像光学系统应用日益广泛,并且对小型化有了更高要求,因此提出一种紧凑型中波红外成像系统的无热化光学设计。首先针对需求对光学参数进行了分析与计算,根据参数要求采用卡塞格林系统缩短系统纵向尺寸,然后用...

 PDF全文红外技术 | 2018, 40(02):119

 基于双目立体视觉的高压绝缘子在线检测系统

贺文俊 王加科 付跃刚 莫时骏

[摘要]针对国家电网系统在防污闪工作中, 无法在线测量电气设备爬电距离的现状,基于双目立体视觉研制了一种高压绝缘子爬电距离的带电检测系统。提出了利用圆锥面离轴反射镜产生线结构光的方法。利用窄带滤光片增强了线结构...

 PDF全文应用光学 | 2018, 39(04):528

 透射波前Zernike系数与波长的函数关系研究

张齐元 韩森 唐寿鸿 罗春华 付跃刚

[摘要]波前像差可以很好地反映光学系统的性能, 波前检测结果通常用一组Zernike多项式线性组合表示。透射式光学系统波前需要在特定波长下检测, 由于检测仪器的限制, 目前只有少数波长的波前可以得到准确检测。提出一种新的思...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(02):0212002

 基于同心透镜的超广角手机镜头设计

王洋 孟祥月 张磊 付跃刚 顾志远

[摘要]设计了一款基于同心透镜的1300万像素超广角手机镜头,得到符合工业生产要求的手机镜头参数。该镜头由4片同心透镜组成,焦距为3.3 mm,F数为1.83,视场角为100°,总长5.18 mm。研究结果表明,在奈奎斯特频率为22...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(10):1022001

 液晶空间光调制器的波像差校正设计与实现

徐宁 付跃刚 浦东 温春超

[摘要]针对光学系统存在的像差,提出一种基于液晶空间光调制器的波像差校正方法。对于平行光入射情况,采用数字波面移相干涉仪对光学系统的波前进行精确测量,得到畸变波前的矩阵数据;对于有限远物距的成像,采用Zemax软件...

 PDF全文电光与控制 | 2018, 25(01):79

 利用小周期蛾眼结构提高红外材料抗反射特性的研究

董亭亭 陈 驰 王海涛 耿安兵 付跃刚

[摘要]在亚波长区(λ/n<Λ<λ)具有较低反射率和零级透射率,然而在小周期区(Λ<λ/n)具有低反射率和透射率。因此,基于严格耦合波分析(RCWA)理论,以硅基底仿生小周期蛾眼微纳结构为例,设计并分析了针对该结构反射率...

 PDF全文光学与光电技术 | 2018, 16(03):84

 圆锥形仿生蛾眼抗反射微纳结构的研制

郭旭东 董亭亭 付跃刚 陈 驰 温春超

[摘要]采用时域有限差分(FDTD)法对中红外波段(3~5 μm)硅基底的圆锥形仿生蛾眼微纳结构进行了仿真模拟。通过对微纳结构占空比、周期和刻蚀深度等参数的分析, 获得了具有良好抗反射特性的微纳结构的组合参数。为了更好地指导...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(09):0910002

 “猫眼”逆反射器的偏振特性分析

李亚红 付跃刚 贺文俊 刘智颖 赵 宇

[摘要]根据矢量场的光线追迹方法和光路的几何关系, 推导得出入射高度(归一化)、折射率和逆反发散角之间的变化关系, 以逆反发散角最小为目的, 得出“猫眼”逆反射器的最佳设计参数, 并利用ZEMAX进行光学设计。基于三维琼斯矩...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(06):0620001

 用于目标识别的紧凑型仿生复眼光学系统设计

付跃刚 赵 宇 刘智颖 张 凯 朱启凡 李亚红

[摘要]大孔径仿生复眼光学系统兼顾了凝视大视场的同时, 克服了生物复眼孔径小、视距短的缺陷。通过对仿生复眼视场拼接方法的分析, 研究了实际阵列周期与理论计算周期数的关系, 并提出了降低子眼系统密度的填补子眼法。通过...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(06):0602001

 单透镜高分辨成像系统的研究和设计

徐宁 付跃刚 浦东

[摘要]单片凸透镜由于存在较大像差, 在实际应用中难以单独成像, 相对孔径越大, 单片凸透镜的成像质量越差, 通常使用多片透镜以进行像差校正。针对单凸透镜成像质量差的的问题, 提出了采用液晶空间光调制器和微扫描光楔实现...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(11):1118001

 点源透射比测试的高性能光陷阱技术研究

曹智睿 付跃刚

[摘要]在高精度的点源透射比测试中, 测试环境中背景杂散光的影响不可忽视。为了提高点源透射比的测试精度, 研制了一种可有效抑制背景杂散光的高性能光陷阱系统。依据点源透射比测试理论和光辐射能量传输理论, 给出了光陷阱...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(01):0117006

 基于双波片的偏振调控和偏振测量技术

李亚红 付跃刚 贺文俊 刘智颖

[摘要]针对双波片偏振调控结构, 基于Stokes-Mueller矩阵偏振算法, 对双1/4波片和双1/2波片的偏振调控机理作了详尽的理论分析, 得出调控偏振态与双波片快轴方向之间的关系, 并追迹其在庞加莱球上的运动轨迹.基于双波片调控结...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2017, 36(04):425

 仿生蛾眼抗反射微纳结构衍射特性研究

董亭亭 陈驰 熊涛 耿安兵 付跃刚

[摘要]通过分析仿生蛾眼抗反射阵列周期对反射率和透射率的影响,获得了波长与周期之比与反射波能量和零级透射波能量直接相关,分界线符合±1级衍射倏逝条件。在亚波长区具有低反射率和低零级透射率,而在小周期区具有低反...

 PDF全文光学与光电技术 | 2017, 15(03):57

 Si衬底表面圆柱形抗反射周期微结构的设计及制作

董亭亭 付跃刚 陈驰 张磊 马辰昊 赵玄

[摘要]应用严格耦合波分析方法(RCWA), 在本征硅片衬底表面设计并制作了一种圆柱形抗反射微结构元件。通过MATLAB软件模拟仿真确定其最优参数组合, 使反射率设计值为3%。应用二元曝光技术和反应离子刻蚀技术制作了单面和双面...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(06):0622002

 基于μLED发光技术的新型星模拟器设计

孙向阳 付跃刚 李杰 段洁

[摘要]针对常规星模拟器存在的模拟参数少、精度低和模拟技术难度大等具体问题, 将μLED发光技术引入到星模拟器的设计中, 提出一种基于μLED发光技术的新型星模拟器研制方法。结合星模拟器准直光学系统设计结果, 详细设计了...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(04):0424002

 空气洁净度对点源透射比测试准确度的影响

曹智睿 付跃刚 田浩

[摘要]为了进一步提高点源透射比测试准确度, 明确点源透射比测试环境需求, 提出了一种定量分析空气洁净度对点源透射比测试准确度影响的方法.该方法以Mie散射理论为基础, 采用蒙特卡洛模拟方法, 对空气中尘埃的尺寸和数量进...

 PDF全文光子学报 | 2016, 45(01):0112002

 锗衬底表面圆柱形仿生蛾眼抗反射微结构的研制

董亭亭 付跃刚 陈驰 张磊 马辰昊

[摘要]采用严格耦合波分析方法研究了长波红外波段锗基底的圆柱形周期阵列仿生蛾眼抗反射微结构的衍射特性,并进行理论分析和模拟仿真验证。重点分析了周期、深度、占空比和整体面型轮廓等参数对微结构抗反射特性的影响,得...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(05):0522004

 双光楔微扫描哈特曼-夏克波前探测技术

马辰昊 付跃刚 贺文俊 王加科 董亭亭

[摘要]传统哈特曼-夏克传感器主要受微透镜尺寸与微透镜数量的限制,对待测波前采样不足,影响对波前的探测精度。通过对哈特曼-夏克传感器波前重构原理和双光楔微扫描原理进行分析讨论,提出了一种在哈特曼-夏克传感器之前加...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(09):2813

 Schmidt 结构的改进型龙虾眼光学透镜研究

欧阳名钊 朱万彬 付跃刚 高天元 董科研 崔承坤 姜苏伦

[摘要]龙虾眼光学是解决大视场高能射线聚焦的关键技术。从成像光学的视角考察了龙虾眼光学系统的成像原理,制作完成了基于Schmidt结构的改进型龙虾眼光学透镜原理样机,并对该系统在可见光波段的性能进行了测试。该龙虾眼透...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(12):3610

 大视场球形逆反射器的光学设计

李亚红 付跃刚 贺文俊 刘家源 顾瑛娟

[摘要]在单层球形逆反射器的基础上,提出双层球形逆反射器,根据单个折射球面的物像位置关系和矢量场的光线追迹方法,推导得出内外层折射率和曲率半径之间的关系,及逆反光束的发散角与入射高度、球差之间的变化关系.利用ZEMAX...

 PDF全文光子学报 | 2015, 44(11):1122001

 一种激光雷达复合式扫描方法及试验

马辰昊 付跃刚 宫平 欧阳名钊 张书瀚

[摘要]传统激光雷达系统中,固态激光光源的重复频率和扫描系统的扫描带宽、精度均制约着系统成像。为提高激光雷达的成像精度,首先,在激光光源上采用经EDFA放大后的DFB高重频激光光源。其次,提出了一种PZT与振镜相结合的...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(11):3270

 基于Patran和Sinda/Fluint空间光学载荷机热联合仿真方法研究

闫浩 郭栋 任维佳 付跃刚

[摘要]空间光学载荷在飞行任务期间受复杂热环境的影响,部分关键部件如光学镜体及其内部支撑结构由于温度变化带来的热变形会对载荷整体性能产生重要影响。精确模拟空间外热流作用下的载荷飞行和关键部件在给定温度场下的结构...

 PDF全文光学技术 | 2015, 41(04):346

 红外变焦投影光学系统的设计

刘智颖 栾晓宇 付跃刚 高子英

[摘要]根据外场测试要求, 设计一套精确变焦的大口径投影光学系统, 为系统性能测试评估提供远场至近场的目标成像模拟, 系统由精确变焦系统和大口径投影系统两部分组成。根据被测系统口径及所成像点大小要求, 在保证光瞳衔接...

 PDF全文应用光学 | 2015, 36(06):857

 单CCD彩色相机激光干扰模型及外场干扰实验

王涛涛 付跃刚 汤伟 王锐 王挺峰 郭劲

[摘要]开展了多波段激光(750~970 nm)对彩色CCD成像系统的外场干扰实验, 测得了不同辐照条件下对外场1.3 km处彩色CCD成像系统的干扰效果; 建立了彩色CCD相机的激光干扰模型, 对实验结果进行了理论验证与分析。理论与实验结果...

 PDF全文发光学报 | 2015, 36(05):588

 一种提高HWS采样率的透镜式微扫描方法

马辰昊 付跃刚

[摘要]为改善传统哈特曼-夏克波前传感器对待测波前采样不足的缺点, 对哈特曼-夏克波前传感器和微扫描进行了分析, 提出一种提高哈特曼-夏克波前传感器采样率的透镜式微扫描方法。通过在微透镜阵列之前加入由PZT驱动的透镜扫...

 PDF全文应用光学 | 2015, 36(05):768

 基于空间激光通信组网四反射镜动态对准研究

郑阳 付跃刚 胡源 姜会林

[摘要]空间激光通信全光链路组网具有较高的通信速率,决定了其在未来全球空间通信领域中的重要地位及发展方向。全光链路组网需解决一点对多点的光学链路问题,不同方法所涉及的结构和跟踪控制方式会有较大差异。基于全光链...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(01):0105001

 红外双视场枪瞄光学系统设计

付跃刚 黄蕴涵

[摘要]随着现代战争中伪装技术的日益增强,瞄准镜的性能对武器威力的发挥起到至关重要的作用。结合红外与变倍特性的瞄准镜系统将在观测中发挥重要的作用。本文设计的双视场红外瞄准镜系统工作波段为 8~11 μm,视场大小变...

 PDF全文红外技术 | 2014, 36(06):451-456

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