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[摘要]针对大口径非球面透镜透射波前检测, 提出了采用计算全息元件(CGH)作为光路相位补偿元件进行检测的方法。大口径非球面透镜透射波前通常采用球面干涉仪进行检测, 为了达到零位检测的目的, 在光路中往往需要加入相位补偿...
 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(02):021202
[摘要]为实现大口径光学元件波前功率谱密度(PSD)的高精度、低成本检测,提出了一种将干涉与拼接技术结合的检测方法。推导了波前PSD的计算方法,提出了基于相关匹配的子孔径拼接算法,分析了拼接干涉检测的误差来源。对拼接...
 PDF全文中国激光 | 2019, 46(02):0204008
[摘要]为了高精度地检测长焦透镜的透射波前, 提出了在Zygo干涉仪的平面光路中加入一个二元衍射元件提供参考波前的计算全息法(CGH)。介绍了计算全息法检测长焦透镜透射波前的理论, 设计并研制了高精度计算全息板, 并将其用于...
 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(12):3005
[摘要]使用高精度数字应力仪测量光学玻璃的应力双折射,给出整体应力分布及大小。实验表明温度及重力对材料/玻璃的应力双折射分布和大小有非常明显的影响,相对初始测量结果,应力双折射最大值减少了83%,均方根(RMS)值减...
 PDF全文光学学报 | 2015, 35(s2):s212002
[摘要]提出了一种基于两平板绝对检验的迭代面形恢复算法。算法基于两平板互检方法,通过分别翻转和旋转其中一块平板,获得4次两两测量结果。对测量得到的4个结果数据进行翻转和旋转逆操作,直接推导出三个面形与测量结果及...
 PDF全文光学学报 | 2014, 34(12):1212003
[摘要]KDP晶体的折射率不均匀性将导致光束的空间分布存在不同程度的相位失配,从而使得三倍频系统的转换效率下降。为了得到KDP晶体折射率非均匀性的高精度检测结果,基于正交偏振干涉法,采用ZYGO MST大口径干涉仪,测量得...
 PDF全文应用光学 | 2013, 34(02):300-303
[摘要]提出了一种对镜面对称法绝对测量中的原理性误差进行补偿的方法。镜面对称法绝对测量中,需要旋转其中一块平板,由于旋转次数的有限性,重构的三板波前均存在缺失cNθ项的原理性误差。通过增加一次不同角度的旋转,根...
 PDF全文光学学报 | 2013, 33(04):0412003
[摘要]提出了一种大口径干涉仪标准镜绝对面形精度的传递方法,在已知一台干涉仪参考镜绝对面形的前提下,可向待测标准镜进行精度传递。由于检测温度与使用温度的不同,待测标准镜在另一台干涉仪作参考镜时,绝对面形会发生...
 PDF全文强激光与粒子束 | 2013, 25(12):3210-3214
[摘要]为了获得连续相位板(CPP)焦斑的外形尺寸,提出一种焦斑边缘轮廓的提取方法。连续相位板焦斑图像内部梯度起伏较大,直接应用传统边缘检测方法,易形成内部伪边缘。通过对焦斑图像依次作梯度处理、阈值分割、空间扫描和...
 PDF全文强激光与粒子束 | 2013, 25(12):3205-3209
[摘要]提出一种基于“2+1”相移算法的正交复合光栅投影三维测量方法。用2帧相移量相差为π/2的正弦光栅加1帧背景光代替传统正交复合光栅相位测量轮廓术(OCGPMP)中3帧等相移正弦光栅,并将受背景项调制的载波频谱放在受2帧正...
 PDF全文中国激光 | 2012, 39(02):0208003
[摘要]建立了一种测量无规则裂缝宽度的量化模型,提出了一种真伪裂缝区域分割新方法.该方法通过边缘检测并利用形态学膨胀运算,在待测裂缝的两侧边缘区域选取近似等量的目标像素和背景像素后,设置门限以自适应选取最佳分割...
 PDF全文光子学报 | 2010, 39(11):2097-2101
[摘要]提出了一种对大尺寸物体进行三维重构的方法。该方法运用相位测量轮廓术(PMP)测得子区域的三维面形,采用区域调制度和最大化的思想进行高度相关匹配,通过拼接获得了整个物体的三维面形。该方法与运用所有高度数据进行匹...
 PDF全文中国激光 | 2010, 37(03):784-788
[摘要]提出了一种采用频域滤波优化条纹来提高数字相位测量轮廓术(PMP)的测量精度的方法。由于数字投影仪和CCD的数字化特征,CCD获取的正弦条纹会出现多次谐波。而相位测量轮廓术的某些算法对高次谐波敏感使得测量精度低。通...
 PDF全文中国激光 | 2010, 37(01):220-224
[摘要]提出了一种对条纹对比度和背景光进行校准的正交复合光三维测量方法。从参考平面的复合光栅像中解调获得各帧相移正弦条纹, 通过频域滤波的方法获取条纹的零频和基频分量, 计算出各帧相移正弦条纹相对第一帧正弦条纹的...
 PDF全文光学学报 | 2010, 30(11):3191-3196