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 基于膜片与菱形结构的光纤布拉格光栅加速度传感器

魏莉 余玲玲 姜达州 刘壮 李恒春

[摘要]提出了一种基于膜片与菱形结构的光纤布拉格光栅(FBG)加速度传感器,理论分析了传感器的加速度检波机理,推导了其灵敏度和谐振频率表达式。利用ANSYS和MATLAB软件对传感器的结构参数进行了优化设计,得到了尺寸更小但能满...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(09):0910003

 采用神经网络控制的超精密平面定位

张金龙 余玲玲 内田敬久 刘京南

[摘要]设计了一种基于激光莫尔信号的超精密平面定位装置,该装置可实现高精度位置检测及X-Y-( 三自由度的全自动精密平面定位.激光莫尔信号传感器为相位相差180(的两组衍射光栅,构成差动光栅技术,可有效提高位置检测信号灵敏...

 PDF全文光电工程 | 2005, 32(01):5-8

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