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   将选定结果: 

 沉积工艺对YbF3薄膜可靠性的影响

冯毅东1 2 于天燕1 刘定权1

[摘要]从沉积方式、薄膜厚度、沉积温度和离子束能量四个方面,研究了沉积工艺对氟化镱(YbF3)薄膜可靠性的影响。研究结果表明,相较于电阻加热蒸发方式,用电子束加热蒸发得到的YbF3薄膜,其致密性更好,水汽吸收更少;薄膜...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(07):0731002

 离子辅助沉积对ZnS薄膜晶体结构及光学特性的影响

冯毅东 秦 杨 于天燕

[摘要]对不同离子束密度条件下辅助沉积的ZnS薄膜进行了物理及光学特性研究。研究结果表明,在离子束辅助沉积ZnS薄膜时会出现非均匀生长现象, 且非均匀性和折射率会随着离子束密度的增加而增大, 薄膜结晶程度也增加。薄膜的非...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(10):103101

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