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   将选定结果: 

 基于强化学习的准分子激光器能量控制算法研究

孙泽旭 冯泽斌 周翊 刘广义 韩晓泉

[摘要]光刻用准分子激光器的能量特性在集成电路的光刻过程中至关重要,直接影响光刻机曝光线条的精度。为了实现对于衡量能量特性的能量稳定性和剂量精度的精确控制,从放电电压调节的角度对激光脉冲的能量特性控制进行了研究...

 PDF全文中国激光 | 2020, 47(09):0901002

 基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统研究

朱成林 韩晓泉 冯泽斌 胡明庆

[摘要]针对准分子激光器温度控制系统的大时间滞后特点,利用MATLAB对准分子激光器温度 控制系统进行模型辨识,设计了一种新型Smith-PID预估复合控制器。在此基础上分别对两种控 制器进行仿真和实验。结果表明与常规PID控制器...

 PDF全文量子电子学报 | 2018, 35(05):533

 准分子激光器温度控制系统设计

冯泽斌 周维虎 白路军

[摘要]设计了一种应用于准分子激光器的高精度温度控制系统,可对准分子 激光器放电腔的温度进行实时采集、 显示、控制,达到维持激光器腔体温度恒定的目的,从而改善激光器的工作性能如能量稳定性和使用寿命等。 系统采用飞思...

 PDF全文量子电子学报 | 2015, 32(04):431

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