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 高重频KrF准分子激光器能量特性控制

冯泽斌 周翊 江锐 韩晓泉 孙泽旭 张华

[摘要]能量稳定性和剂量精度是半导体光刻用高重频准分子激光器的重要指标，必须采用高精度的控制算法对其进行控制。针对准分子激光器，首先对准分子激光器的单脉冲能量特性进行了分析，并在分析的基础上建立了准分子激光器...

 PDF全文红外与激光工程 | 2020, 49(11):20200043-20200043

 基于强化学习的准分子激光器能量控制算法研究

孙泽旭 冯泽斌 周翊 刘广义 韩晓泉

[摘要]光刻用准分子激光器的能量特性在集成电路的光刻过程中至关重要,直接影响光刻机曝光线条的精度。为了实现对于衡量能量特性的能量稳定性和剂量精度的精确控制,从放电电压调节的角度对激光脉冲的能量特性控制进行了研究...

 PDF全文中国激光 | 2020, 47(09):0901002

 基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统研究

朱成林 韩晓泉 冯泽斌 胡明庆

[摘要]针对准分子激光器温度控制系统的大时间滞后特点,利用MATLAB对准分子激光器温度 控制系统进行模型辨识,设计了一种新型Smith-PID预估复合控制器。在此基础上分别对两种控 制器进行仿真和实验。结果表明与常规PID控制器...

 PDF全文量子电子学报 | 2018, 35(05):533

 准分子激光器温度控制系统设计

冯泽斌 周维虎 白路军

[摘要]设计了一种应用于准分子激光器的高精度温度控制系统,可对准分子 激光器放电腔的温度进行实时采集、 显示、控制,达到维持激光器腔体温度恒定的目的,从而改善激光器的工作性能如能量稳定性和使用寿命等。 系统采用飞思...

 PDF全文量子电子学报 | 2015, 32(04):431