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 垂直腔面发射激光器氧化孔结构对器件激射性能的影响

梁静 贾慧民 冯海通 唐吉龙 房丹 苏瑞巩 张宝顺 魏志鹏

[摘要]为实现894.6 nm低阈值、高稳定性、单模激光输出, 设计了具有不同台面刻蚀结构的垂直腔面发射激光器(VCSEL)器件, 研究了台面直径和氧化孔结构对器件激射性能的影响。研究结果表明: VCSEL台面直径越大, 阈值电流越大;...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(03):0301001

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