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 光学面形绝对测量方法仿真和实验研究

孟诗 刘世杰 陈磊 周游 白云波

[摘要]传统光学干涉检测方法为相对检测法,检测精度一般受限于参考面面形精度,利用绝对检测技术可消除参考面面形误差对干涉测量精度的制约, 从而可以实现纳米级精度的面形测量。首先介绍了N位旋转平均绝对检测方法和斜入射...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(05):051201

 大口径激光钕玻璃均匀性拼接检测技术

白云波 周游 刘世杰 邵建达 徐隆波

[摘要]提出了基于600 mm口径干涉仪的一维子孔径拼接测量方法,通过像素错位误差模拟分析结果,设计并研制了一维大行程气浮型精密扫描拼接平台,实现了对角线接近1 m的大口径激光玻璃的全口径光学均匀性拼接检测,并对该技术...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(09):0912004

 快速、 高精度可见光-近红外透射光谱测量技术研究

王圣浩 刘世杰 王微微 张志刚

[摘要]基于传统分光光度测量方法的构架, 提出了一种快速、 高精度测量可见光-近红外透射光谱的新方法, 在该方法的测量过程中, 光栅单色器的出射波长保持匀速的连续变化, 同时参考光探测器和测试光探测器保持连续的光强采集...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2018, 38(01):308

 空间光调制器像素尺寸对非球面检测误差影响分析

马啸 刘世杰 张志刚 邵建达

[摘要]空间光调制器(SLM)可以在电驱动等信号控制下, 实时调节振幅、相位、偏振态等信息, 近年来已被尝试用于代替计算全息(CGH)板实现非球面检测。SLM像素尺寸在3.5~20 μm, 远大于CGH板刻蚀分辨率, 使得SLM的相位调制量在像...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(01):0104002

 惯性约束聚变系统中米量级光学元件波面误差检测技术研究进展

徐隆波 周游 朱日宏 刘世杰

[摘要]介绍了惯性约束聚变系统中米量级光学元件的中低频波面误差检测技术及其研究进展, 包括大口径Fizeau干涉仪直接检测法、瑞奇康芒检测法、斜入射检测法和子孔径拼接检测法。阐述了各种检测方法引入的测量误差及误差消除...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2016, 53(12):120001

 基于背景校正和图像分割定量分析光学元件表面疵病的新算法

张博 倪开灶 王林军 刘世杰* 吴伦哲

[摘要]针对基于机器视觉的大口径光学元件表面疵病检测系统在成像过程中存在因照明不均匀等因素造成的图像背景不均匀等问题,采用了基于形态学的图像背景校正算法,提出了结合图像梯度和最大类间方差法的图像分割算法,实验...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(09):0911004

 大口径光学元件斜入射反射波前误差测量和计算

徐隆波 周 游 朱日宏 刘世杰 郑万国

[摘要]针对测量高功率激光驱动装置中大口径矩形反射光学元件的波前误差时测量角度和使用角度不完全相同引入的测量误差, 提出了将测量角度下的反射波前转换到使用角度的反射波前的换算及恢复方法。首先分析了将斜入射测量角...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(12):3027

 基于波面面形的滤波计算

夏志林 曾 翔 刘世杰 周 游 张志刚

[摘要]为提高光学干涉测量的精度, 研究了用来消除干涉条纹图噪声的滤波算法。讨论了不同波面和不同干涉仪噪声下不同滤波方法的滤波效果。考虑干涉仪噪声对条纹图的影响与检测中的不同波面情况, 基于泽尼克多项式原理用matl...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(12):3033

 激光聚焦线扫描法测量KDP晶体坯片的体缺陷

倪开灶 刘世杰 吴周令 陈 坚

[摘要]为了快速准确测量磷酸二氢钾(KDP)晶体坯片的体缺陷, 提出了高速激光聚焦线扫描散射成像方法, 并建立了相应的测量系统。研究了该系统的测量原理和图像采集、图像处理和体缺陷信息提取方法。基于激光散射技术, 结合高速...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(12):3020

 厚胶接近式光刻中掩模优化研究

何骏 刘世杰 王斌 郭猛 王岳亮

[摘要]随着光刻胶厚度的不断增大,制作的光刻图形畸变愈发严重,这极大的影响了微结构器件的性能与应用.针对高深宽比柱状微结构在光刻胶厚度方向上畸变的特点,提出了双面曝光和亮衬线、灰阶掩模相结合的办法,利用遗传算法对失...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(07):074104

 一种修正子孔径拼接中系统误差的方法

周游 王青 刘世杰

[摘要]通过对子孔径拼接中系统误差放大效应的分析研究,提出一种修正由干涉仪参考平晶引入的系统误差的方法。该方法只需利用三面互检获取参考平晶在拼接轴上(水平和垂直方向)的面形数据,再用该数据构建参考平晶的面形误...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2014, 51(05):051202

 基于Matlab和VC混合编程的三面互检程序设计

周游 刘世杰

[摘要]研究了光学平面绝对检验的干涉测量方法:三面互检法。该方法需要三个被测平面,两两组合测量,就能够得到被测平面在通过其中心两个垂直方向的线轮廓数据。根据Matlab 和VC 混合编程思想,设计了带界面的三面互检计算...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2014, 51(04):041201

 全内反射显微技术探测亚表面缺陷新方法研究

崔辉 刘世杰 赵元安 杨俊 刘杰 刘文文

[摘要]亚表面缺陷的检测和去除对于提高光学元件的激光损伤阈值至关重要。结合全内反射显微技术和数字图像处理技术获得光学元件亚表面缺陷信息的新方法,利用显微镜系统的有限焦深,对亚表面缺陷沿深度方向扫描,可以获得不...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(06):0612004

 大气环境下激光打孔及封焊技术研究

滕文华 刘世杰 沈显峰 王亚荣 杨家林

[摘要]开展了大气环境下激光打孔及封焊技术研究, 研究了典型工艺参数对小孔形状、小孔封焊形貌的影响规律, 研究结果为激光取样技术的实际应用积累了技术基础。

 PDF全文应用激光 | 2013, 33(05):515-519

 辅助增强匙孔激光焊接的等离子体特征

沈显峰 滕文华 许超 张伟超 刘世杰

[摘要]等离子体的有效抑制是提高激光焊接能量吸收率、熔池-小孔稳定性的重要途径, 气流辅助激光焊接是通过控制等离子体行为增加激光焊接熔深的有效途径之一。采用1.5 kW板条型CO2连续激光器, 开展了不同气流参数下的激光焊...

 PDF全文应用激光 | 2013, 33(05):510-514

 用于脉冲压缩光栅的宽带高分辨率光谱测量技术

何凯 刘世杰 侯永强 李煦 晋云霞 易葵

[摘要]以多层介质膜或金属膜为基底的脉冲压缩光栅在利特罗角附近使用,具有衍射效率高、衍射光谱带宽等特点,需要对其衍射光谱进行高分辨率的准确测量,以便为其制作工艺的改进提供可靠依据。根据双光路测量原理,建立了衍...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(10):1005002

 -1级高衍射效率的浅刻蚀多层介质膜光栅的设计

汪剑鹏 晋云霞 刘世杰 邵建达 范正修

[摘要]本文报道了一种新的浅刻蚀多层介质膜光栅(multilayer dielectric grating MDG)的设计。该光栅在中心波长1064nm近Littrow角入射时,对应的-1级衍射效率接近100%。本文采用了粒子群优化算法优化设计了MDG,采用傅里叶模...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):29

 电场的增强作用对介质膜光栅损伤形貌的影响

孔伟金 刘世杰 范正修 邵建达

[摘要]研究了电场在介质膜光栅结构中的增强效应对其抗激光损伤阈值的影响.使用傅里叶模式方法计算了电场在介质膜光栅浮雕结构内的分布.数值分析表明:电场在介质膜光栅中增强的最大值为入射光的2倍,其最大的位置出现在相对...

 PDF全文光子学报 | 2009, 38(02):298-301

 真空室内金属杂质污染对光学薄膜性能的影响

凌波 刘世杰 袁磊 贺洪波 范正修 邵建达

[摘要]真空室内金属粒子污染是降低激光薄膜性能的一个重要因素。采用高真空残余气体分析仪,对薄膜沉积过程中的气氛进行分析。发现由黄铜制作的加热灯架在工作时会分解出Zn,在这种条件下沉积薄膜,会使薄膜中掺入金属杂质,导...

 PDF全文中国激光 | 2007, 34(07):988-991

 全内反射式衍射光栅近场光学特性

周平和 王少华 刘世杰 邵建达

[摘要]利用傅里叶模式理论分析了具有高衍射效率的全内反射式衍射光栅在TE 和TM偏振态下的近场光分布特点,讨论了光栅结构参数以及入射角度对光栅内电场增强的影响.结果表明:全内反射光栅内部电场分布对偏振态较敏感,光栅槽深...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2007, 19(09):1413-1416

 非傍轴高斯光束通过方环硬边光阑的传输特性研究

周平和 潘峰 郭颖 卢进军 姚进斌 王少华 刘世杰

[摘要]利用矢量Rayleigh积分公式研究了非傍轴高斯光束通过方环硬边光阑的传输,得到了衍射场分布的解析表达式.和傍轴传输相比较,该结果具有更广泛的适用性.以桶中功率为光束质量评价函数,讨论了遮拦比、截断参数对远场光束质...

 PDF全文光学与光电技术 | 2006, 4(02):69-72

 多层介质膜光栅和介质膜反射镜抗激光损伤阈值研究

孔伟金 刘世杰 沈自才 沈健 邵建达 范正修

[摘要]对多层介质膜光栅以及介质膜反射镜的激光损伤阈值进行了系统的研究。测试方法采用国际测试标准。测试结果表明,介质光栅的损伤阈值远低于未刻蚀的多层介质膜。对样品损伤形貌的扫描电镜照片分析发现,相比于未刻蚀的...

 PDF全文中国激光 | 2006, 33(04):552-556

 用改进曝光模型模拟厚胶显影轮廓

段茜 姚欣 陈铭勇 马延琴 刘世杰 唐雄贵 杜惊雷

[摘要]考虑厚胶曝光过程中非线性因素的影响及其显影特点,用一套随抗蚀剂厚度发生变化的曝光参数改进的Dill曝光模型,仿真厚层抗蚀剂光刻过程,并比较新曝光模型与原有Dill模型模拟的结果差异.模拟显示,用新曝光模型获得的厚抗...

 PDF全文光电工程 | 2006, 33(04):50-54

 多层介质膜脉宽压缩光栅的严格矢量分析

刘世杰 孔伟金 沈自才 邵建达 贺洪波 范正修

[摘要]用于展TB132宽和压缩激光脉冲的多层膜脉宽压缩光栅是由多层介质高反膜和位于其顶层的浮雕光栅构成。以设计的高反射多层膜为基础,利用傅里叶模式理论分析了其衍射场分布,给出了TE波自准直角入射的使用条件下,多层介质...

 PDF全文光学学报 | 2006, 26(05):652-656

 利用傅里叶模方法分析厚层光刻胶内衍射光场

唐雄贵 郭永康 杜惊雷 刘世杰 高峰 高福华

[摘要]建立了描述厚层光刻胶内衍射光场形成过程的物理模型,并利用傅里叶模方法模拟计算和分析了其内部衍射光场分布。该方法考虑了其界面反射、透射及光刻胶复折射率在空间上的缓慢变化对衍射光场的影响,采用该方法模拟光...

 PDF全文光学学报 | 2005, 25(02):246-250

 利用边缘相位校正实现光束整形的高精度优化

高峰 刘建莉 高福华 刘世杰 郭永康

[摘要]提出利用边缘相位校正的新方法,校正用追迹法设计的产生环形光束的衍射光学元件的相位分布,从而实现光束整形中的高精度优化。通过将高斯光束整形为环形光束,将该方法、G-S(Gerchberg-Saxton)算法和改进的G-S算法设计得...

 PDF全文光学学报 | 2004, 24(08):1137-1140

 基于角谱理论的厚层光刻胶衍射光场研究

唐雄贵 郭永康 杜惊雷 刘世杰 高福华

[摘要]为快速、准确地获得厚层光刻胶内部衍射光场的分布,利用角谱理论的思想,考虑入射光通过掩模后在光刻胶面的反射、透射和光刻胶曝光过程中其折射率及吸收系数在深度方向上的变化,建立了衍射光场在厚层光刻胶中传输的理论...

 PDF全文光学学报 | 2004, 24(12):1691-1696

 部分相干分数域滤波改善光刻分辨率新方法

杜惊雷 张怡霄 杨静 刘世杰 肖啸 郭永康 杜春雷

[摘要]基于部分相干成像和分数傅里叶变换,提出在投影光刻系统中,利用分数域滤波改善光刻图形质量的新方法.理论和模拟分析表明:在曝光成像系统中的适当位置加入分数域滤波器,能增强滤波操作的灵活性和效果,可更有效地改善光...

 PDF全文光子学报 | 2003, 32(07):892-895

 酶蚀卤化银明胶制作连续微结构

彭钦军 郭永康 刘世杰 朱建华 曾阳素 陈波

[摘要]提出酶蚀卤化银明胶制作连续深浮雕微结构的新方法。给出了卤化银明胶酶蚀成像原理和深刻蚀过程机理的理论分析。求得存在吸收时,刻蚀深度与曝光量关系的解析式。表明胶膜对光的吸收是造成其非线性关系的主要原因,并...

 PDF全文中国激光 | 2003, 30(11):1027-1030

 实时灰阶掩膜技术制作微透镜列阵

彭钦军 郭永康 曾阳素 刘世杰 陈波 肖啸

[摘要]提出一种制作连续微结构的实时灰阶掩膜技术,它将液晶显示(LCD)系统和投影光刻系统相结合,利用液晶显示系统实时显示一系列二值图形来获得连续的灰度记录,给出了原理分析。基于部分相干光成像理论,进行了微透镜制作...

 PDF全文中国激光 | 2003, 30(10):893-896

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