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 不同沉积方式SiO2薄膜的自然时效特性

姜玉刚 刘小利 刘华松 王利栓 李士达 陈 丹 刘丹丹 姜承慧 季一勤

[摘要]SiO2薄膜是光学薄膜领域内常用的重要低折射率材料之一。文中采用不同沉积技术在Si基底上制备了SiO2薄膜, 并研究了它们光学特性的自然时效特性。采用不同贮存时间的椭偏光谱表征SiO2薄膜的光学特性, 随着时间的增加, ...

 PDF全文红外与激光工程 | 2019, 48(05):0521001

 离子束溅射宽带吸收薄膜设计与制备技术研究

姜玉刚 刘小利 刘华松 刘丹丹 王利栓 陈 丹 姜承慧 季一勤

[摘要]Si薄膜在可见光和近红外波段具有一定的吸收特性, 可用于宽带吸收薄膜的制备。采用离子束溅射技术, 在熔融石英基底上制备了不同沉积工艺参数的Si薄膜, 基于透、反射光谱和椭偏光谱的全光谱数值拟合法, 计算了Si薄膜的...

 PDF全文红外与激光工程 | 2019, 48(02):0221003

 高响应度倍增型碳纳米管-有机红光探测器

安涛 刘丹

[摘要]采用溶液旋涂方法将单壁碳纳米管与有机红光材料结合并制作出红光探测器, 研究了单壁碳纳米管对PBDTTT-F∶PCBM本体异质结活性层薄膜的影响机理及其红光探测器的光电特性.利用原子力显微镜, 荧光光谱和紫外-可见吸收光...

 PDF全文光子学报 | 2019, 48(01):0104001

 MEMS红外图像转换芯片热力学性质研究

刘丹 周朗 王欣 徐立强 李卓

[摘要]MEMS红外图像转换芯片是一种将可见光转换为红外辐射并用于红外目标模拟器的直接辐射型器件。对MEMS红外图像转换芯片的热力学性能进行研究: 与标准黑体辐射谱对比表明芯片辐射光谱为黑体谱, 红外波段平均发射率0.638;...

 PDF全文光学技术 | 2019, 45(04):502

 可见/近红外超光谱碲镉汞焦平面研究

张 姗 沈益铭 刘 丹 钟艳红 魏彦锋 廖清君 陈洪雷 林 春 丁瑞军 何 力

[摘要]为了满足可见-近红外波段的高光谱分辨率和高灵敏观测需求,采用大面阵、低噪声碲镉汞焦平面制备技术和低损伤衬底去除技术,成功制备了高信噪比大面阵可见/近红外碲镉汞焦平面探测器。无损衬底去除技术采用机械抛光和...

 PDF全文应用光学 | 2019, 40(03):429

 光刻制程参数对光刻胶DICD和锥角的影响

刘 丹 陈启超 黄 晟 秦 刚 高朋朋 陈 昊 蔡晓锐 王百强 冯家海 方 亮

[摘要]光刻胶经过曝光、显影后的锥角(Taper)和关键尺寸(Develop Inspection Critical Dimension, DICD)是光刻工艺的重要参数。明确影响锥角和DICD的工艺参数, 进而控制锥角和DICD, 这对工艺制程至关重要。本文结合光刻制程...

 PDF全文液晶与显示 | 2019, 34(02):146

 基于离子束溅射Ta2O5薄膜的紫外吸收膜技术

姜玉刚 刘华松 陈 丹 王利栓 李士达 刘丹丹 姜承慧 季一勤

[摘要]为获得高性能紫外激光薄膜元件, 急需研制紫外高反射吸收薄膜, 实现吸收损耗的精确测量。本文采用离子束溅射技术, 通过调控氧气流量实现了具有不同吸收的Ta2O5薄膜的制备。以Ta2O5薄膜作为高折射率材料, 设计了355 nm...

 PDF全文光学 精密工程 | 2019, 27(03):527

 复杂背景下微小圆柱端面缺陷检测方法研究

刘丹 张斌 李慧娴 宋文豪 李峰宇 杨腾达

[摘要]对于复杂背景下微小圆柱体芯块的端面缺陷检测, 受表面镀层不均匀造成的灰度信息的干扰, 现有的基于阈值、形态学、边缘Canny的分割方法的检测具有不精确性。提出一种基于机器视觉的结构光三角剖分技术缺陷检测算法。首...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(06):061006

 基于双重阈值和张量投票的表面裂纹检测算法

李慧娴 张斌 刘丹 杨腾达 宋文豪 李峰宇

[摘要]针对裂纹与背景之间的低对比度及裂纹区域内灰度值不均匀所导致的裂纹提取困难问题,提出一种基于双边滤波和局部灰度差相结合的双重阈值裂纹片段提取法,并结合张量投票算法进行裂纹检测。该算法采用双重阈值法获取裂...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(05):051010

 基于多光谱数据指导的偏度平衡点云滤波

韩晓峰 杨风暴 卫红 李大威 刘丹

[摘要]针对现有激光雷达(LiDAR)点云滤波方法无法有效排除数字表面模型(DSM)中数据空洞干扰的问题,提出了基于多光谱数据指导的偏度平衡点云滤波方法。该方法将多光谱数据引入点云滤波并将其作为引导图像,实现了与噪声点光...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(04):042801

 多金属层诱导透射紫外“日盲”探测成像滤光片设计与低温制备研究

尚 鹏 熊津平 季一勤 刘华松 刘丹丹 庄克文 刘 旭 沈伟东

[摘要]基于SiO2/Al/SiO2三层夹层结构, 结合使用多角度椭圆偏振谱和透射光谱精确反演获得了薄金属Al层光学常数, 并研究分析了Al光学常数随膜层厚度的变化; 在此基础上采用导纳匹配法, 理论优化获得了三腔金属诱导透射紫外滤...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(09):0920002

 具有混合结构的三基色有机光电探测器的光电特性

安涛 刘丹 吴俊宇

[摘要]采用溶液旋涂和高真空蒸镀工艺制备了平面和体异质结混合型器件结构的三基色有机光电探测器, 利用实验分步探究其不同组分的活性层厚度、混合度以及前置吸收层对器件光电特性的影响.在此基础上, 对三基色有机光电探测器...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(08):0804001

 热处理对双离子束溅射SiO2薄膜力学及热力学特性的影响

冷 健 季一勤 刘华松 庄克文 刘丹丹

[摘要]光学薄膜的力学及热力学特性决定了光学系统性能的优劣。采用双离子束溅射的方法在硅和肖特石英Q1基底上制备了SiO2薄膜, 并对制备的膜层进行退火处理。系统研究了热处理前后SiO2薄膜的力学及热力学特性。研究结果表明...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(06):0621002

 离子束溅射氧化钽薄膜光学特性的热处理效应

王利栓 杨霄 刘丹丹 姜承慧 刘华松 季一勤 张锋 樊荣伟 陈德应

[摘要]主要研究了离子束溅射制备的氧化钽薄膜在大气氛围下热处理对其光学特性的影响规律。实验中热处理温度范围的选择为150~550 ℃, 间隔为200 ℃。研究中分别采用介电常数的Cody-Lorentz色散模型和振子模型对氧化钽薄膜的...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(03):0321004

 基于全介质超表面的电磁诱导透明研究

胡森 刘丹 杨河林

[摘要]设计了一种基于TiO2介质的全介质电磁诱导透明超表面模型, 该结构由两根十字垂直交叉的介质棒和四个介质方块组成.在入射电磁场的作用下, 介质棒中直接被入射电磁场激励的米氏电谐振通过相互耦合作用激发了介质方块中的...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(11):1116001

 航天光学相机几何参数星上监测技术

王慧 刘薇 于建冬 王柯俨 李云松 刘丹

[摘要]针对目前航天光学相机在轨定标方法存在更新周期长、时效性不强的问题, 提出一种将光学自准直原理应用到星上监测的实时在轨定标方法.在卫星载荷系统内部加装准直光源、呈影面阵CCD和棱镜等器件, 将相机焦距、光轴夹角...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(10):1012001

 阵列基板栅极制程的Cu腐蚀研究

刘丹 秦刚 王任远 吕俊君 饶毅 周禹 王百强 李路 蔡卫超 刘涛 李晨雨 陈国良

[摘要]在大尺寸液晶显示器的薄膜晶体管(Thin Film Transistor,简称TFT)TFT工艺技术中,Cu正逐步取代Al作为电极材料。与Al电极制程相比,在进行栅极(Gate)制程时Cu容易发生腐蚀,这会降低产品良率。本文结合ADS(Advanced S...

 PDF全文液晶与显示 | 2018, 33(09):717

 钛合金纳秒激光打孔数值模拟和实验研究

刘丹 孔德新 苗在强 张昕

[摘要]为了描述纳秒激光对钛合金打孔过程中孔的形貌及温度场的变化规律, 建立激光打孔的物理模型, 利用ANSYS中APDL语言进行编程, 对温度场进行仿真分析, 并利用单元生死技术模拟孔形貌的变化过程。从有限元数值模拟和实验两...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2018, 30(06):069001

 基于OTDR的光缆故障点精确定位方法

刘丹蕾 文金朝 彭怀敏

[摘要]光缆维护时存在着故障点的位置定位不精确的问题,给光缆维护和抢修带来了困难。为解决这一问题提出了基于光时域反射仪(Optical Time Domain Reflectometer,OTDR)的光缆故障点精确定位方法。该方法结合了OTDR和偏振光时...

 PDF全文光散射学报 | 2018, 30(04):384

 利用8-羟基喹啉锂作电子注入层以提高有机发光器件的发光效率

刘丹 朱洁 龚千寻 彭婕 WILLIS A.C.Maureen 王苛 张嗣杰

[摘要]8-羟基喹啉锂用作有机电致发光器件的电子注入层能够提高阴极功函数,进而提高器件的发光效率。10 的Liq薄膜足以降低有机电致发光器件中的开启电压并能有效提高器件效率,该现象可与LiF/Al作阴极的器件性能相比拟。利...

 PDF全文光散射学报 | 2018, 30(04):388

 采用人体树图与混合粒子群聚类的行人检测

孟晓燕 段建民 刘 丹

[摘要]为提升辅助驾驶系统的可靠性及安全系数, 实现更高精度的行人检测, 基于人体树图模型提出了一种改进的离线训练、在线检测的行人检测方法。首先, 定义人体部件间的共生关系, 得到对应父子部件对, 结合K-means算法对其位...

 PDF全文光学 精密工程 | 2018, 26(07):1802

 SiO2薄膜光学常数物理模型

刘华松 杨 霄 刘丹丹 王利栓 姜承慧 姜玉刚 季一勤 张 锋 陈德应

[摘要]SiO2薄膜是光学薄膜领域内常用的重要低折射率材料之一。在文中研究中, 通过测量薄膜的椭偏参数, 使用非线性最小二乘法反演计算获得薄膜的光学常数。采用离子束溅射和电子束蒸发两种方法制备了SiO2薄膜, 在拟合过程中...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(09):0921003

 宽频调谐的光纤耦合声光调制系统

陈江 阮军 刘丹丹 王心亮 王鑫 张首刚

[摘要]采用双次通过声光调制器和“猫眼”结构, 消除频率调制带来的光路偏转并增大激光频率的调谐范围, 使用射频驱动功率反馈调节法实现了激光功率的稳定.理论计算和实验验证表明, 选择焦距为40 mm透镜方案, 激光频率调谐在...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(11):1106001

 不同年龄群体的光生物效应评价方式

周晓明 刘丹丹

[摘要]研究了照明光环境对不同年龄人群的光生物效应定量评价方式。从光照转换角度提出了一种考虑不同年龄人眼透射谱、瞳孔直径以及受光面积的节律因子模型, 选取3种不同色温(3 000, 4 000, 6 000 K)的白光LED光源, 在同种...

 PDF全文发光学报 | 2017, 38(06):721

 基于剪切散斑干涉技术的物体变形动态检测

郭 媛 刘丹丹 毛 琦

[摘要]为使仅适用于静态测量的空间相移剪切散斑干涉系统可用于物体变形的动态测量,在对传统剪切散斑干涉系统加以改进的基础上,提出一种物体变形动态检测方法。将检测系统中的压电陶瓷控制器用参考镜代替,减少了物理装置...

 PDF全文应用光学 | 2017, 38(05):777

 Tm:YAG激光器晶体温度场三维数值模拟

姚育成 刘丹琳 黄楚云 徐国旺

[摘要]为提高Tm:YAG激光器输出效率, 设计了冷却和辅热相结合的LD侧面泵浦耦合结构, 考虑泵浦光分布建立了晶体棒温度场三维理论模型进行模拟计算, 分析了辅热情况下晶体棒的温度特性及温度梯度产生的热透镜效应, 计算了泵浦...

 PDF全文应用激光 | 2017, 37(03):441

 离子束溅射氧化铪薄膜的能带特性

刘华松 王利栓 杨 霄 刘丹丹 姜承慧 姜玉刚 季一勤 张 锋 陈德应

[摘要]氧化铪是高激光损伤阈值薄膜领域内一种重要的高折射率材料,其禁带宽度和Urbach带尾宽度直接影响到薄膜的吸收和激光损伤阈值。针对离子束溅射沉积法制备的氧化铪薄膜,以基板温度、离子束电压、离子束电流和氧气流量...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(02):0231001

 离子束溅射薄膜光学常数表征的光斑效应

刘华松 杨 霄 刘丹丹 姜承慧 李士达 季一勤 张 锋 王利栓 姜玉刚 陈德应

[摘要]利用离子束溅射沉积制备了光学薄膜。基于椭圆偏振测量技术, 研究了折射率、膜层厚度和表面层厚度与测试光斑大小的关系。研究结果表明, 随着样品表面测试光斑尺寸的增加, 薄膜折射率变小, 膜层厚度、表面层厚度增加。...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(10):1031001

 基于二维相关分析的ZnS材料声子交互作用

刘华松 杨霄 刘丹丹 李士达 季一勤 张锋 陈德应

[摘要]硫化锌材料是长波红外光学窗口材料优选材料之一.针对化学气相沉积(CVD)和热压成形(HP)两种工艺制备的硫化锌材料, 研究了从室温到600℃的光谱透过率变化现象, 基于二维相关光谱分析技术, 获得了长波吸收区内的声子交互...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2017, 36(05):606

 Mo/Al/Mo结构电极的坡度角和关键尺寸差研究

刘 丹 秦 刚 蔡卫超 王百强 周 禹 饶 毅 李晨雨 刘 涛 段海洋 樊根瑞 吕俊君

[摘要]Mo/Al/Mo结构金属作为TFT的电极, 刻蚀后的坡度角和关键尺寸差是重要的参数。明确影响坡度角和关键尺寸差的工艺参数, 进而控制坡度角和关键尺寸差, 这对工艺制程至关重要。本文探究了膜层结构、曝光工艺、刻蚀工艺对坡...

 PDF全文液晶与显示 | 2017, 32(11):877

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