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 不同沉积方式SiO2薄膜的自然时效特性

姜玉刚 刘小利 刘华松 王利栓 李士达 陈 丹 刘丹丹 姜承慧 季一勤

[摘要]SiO2薄膜是光学薄膜领域内常用的重要低折射率材料之一。文中采用不同沉积技术在Si基底上制备了SiO2薄膜, 并研究了它们光学特性的自然时效特性。采用不同贮存时间的椭偏光谱表征SiO2薄膜的光学特性, 随着时间的增加, ...

 PDF全文红外与激光工程 | 2019, 48(05):0521001

 离子束溅射宽带吸收薄膜设计与制备技术研究

姜玉刚 刘小利 刘华松 刘丹丹 王利栓 陈 丹 姜承慧 季一勤

[摘要]Si薄膜在可见光和近红外波段具有一定的吸收特性, 可用于宽带吸收薄膜的制备。采用离子束溅射技术, 在熔融石英基底上制备了不同沉积工艺参数的Si薄膜, 基于透、反射光谱和椭偏光谱的全光谱数值拟合法, 计算了Si薄膜的...

 PDF全文红外与激光工程 | 2019, 48(02):0221003

 基于离子束溅射Ta2O5薄膜的紫外吸收膜技术

姜玉刚 刘华松 陈 丹 王利栓 李士达 刘丹丹 姜承慧 季一勤

[摘要]为获得高性能紫外激光薄膜元件, 急需研制紫外高反射吸收薄膜, 实现吸收损耗的精确测量。本文采用离子束溅射技术, 通过调控氧气流量实现了具有不同吸收的Ta2O5薄膜的制备。以Ta2O5薄膜作为高折射率材料, 设计了355 nm...

 PDF全文光学 精密工程 | 2019, 27(03):527

 多金属层诱导透射紫外“日盲”探测成像滤光片设计与低温制备研究

尚 鹏 熊津平 季一勤 刘华松 刘丹丹 庄克文 刘 旭 沈伟东

[摘要]基于SiO2/Al/SiO2三层夹层结构, 结合使用多角度椭圆偏振谱和透射光谱精确反演获得了薄金属Al层光学常数, 并研究分析了Al光学常数随膜层厚度的变化; 在此基础上采用导纳匹配法, 理论优化获得了三腔金属诱导透射紫外滤...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(09):0920002

 热处理对双离子束溅射SiO2薄膜力学及热力学特性的影响

冷 健 季一勤 刘华松 庄克文 刘丹丹

[摘要]光学薄膜的力学及热力学特性决定了光学系统性能的优劣。采用双离子束溅射的方法在硅和肖特石英Q1基底上制备了SiO2薄膜, 并对制备的膜层进行退火处理。系统研究了热处理前后SiO2薄膜的力学及热力学特性。研究结果表明...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(06):0621002

 离子束溅射氧化钽薄膜光学特性的热处理效应

王利栓 杨霄 刘丹丹 姜承慧 刘华松 季一勤 张锋 樊荣伟 陈德应

[摘要]主要研究了离子束溅射制备的氧化钽薄膜在大气氛围下热处理对其光学特性的影响规律。实验中热处理温度范围的选择为150~550 ℃, 间隔为200 ℃。研究中分别采用介电常数的Cody-Lorentz色散模型和振子模型对氧化钽薄膜的...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(03):0321004

 SiO2薄膜光学常数物理模型

刘华松 杨 霄 刘丹丹 王利栓 姜承慧 姜玉刚 季一勤 张 锋 陈德应

[摘要]SiO2薄膜是光学薄膜领域内常用的重要低折射率材料之一。在文中研究中, 通过测量薄膜的椭偏参数, 使用非线性最小二乘法反演计算获得薄膜的光学常数。采用离子束溅射和电子束蒸发两种方法制备了SiO2薄膜, 在拟合过程中...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(09):0921003

 宽频调谐的光纤耦合声光调制系统

陈江 阮军 刘丹丹 王心亮 王鑫 张首刚

[摘要]采用双次通过声光调制器和“猫眼”结构, 消除频率调制带来的光路偏转并增大激光频率的调谐范围, 使用射频驱动功率反馈调节法实现了激光功率的稳定.理论计算和实验验证表明, 选择焦距为40 mm透镜方案, 激光频率调谐在...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(11):1106001

 不同年龄群体的光生物效应评价方式

周晓明 刘丹丹

[摘要]研究了照明光环境对不同年龄人群的光生物效应定量评价方式。从光照转换角度提出了一种考虑不同年龄人眼透射谱、瞳孔直径以及受光面积的节律因子模型, 选取3种不同色温(3 000, 4 000, 6 000 K)的白光LED光源, 在同种...

 PDF全文发光学报 | 2017, 38(06):721

 基于剪切散斑干涉技术的物体变形动态检测

郭 媛 刘丹丹 毛 琦

[摘要]为使仅适用于静态测量的空间相移剪切散斑干涉系统可用于物体变形的动态测量,在对传统剪切散斑干涉系统加以改进的基础上,提出一种物体变形动态检测方法。将检测系统中的压电陶瓷控制器用参考镜代替,减少了物理装置...

 PDF全文应用光学 | 2017, 38(05):777

 离子束溅射氧化铪薄膜的能带特性

刘华松 王利栓 杨 霄 刘丹丹 姜承慧 姜玉刚 季一勤 张 锋 陈德应

[摘要]氧化铪是高激光损伤阈值薄膜领域内一种重要的高折射率材料,其禁带宽度和Urbach带尾宽度直接影响到薄膜的吸收和激光损伤阈值。针对离子束溅射沉积法制备的氧化铪薄膜,以基板温度、离子束电压、离子束电流和氧气流量...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(02):0231001

 离子束溅射薄膜光学常数表征的光斑效应

刘华松 杨 霄 刘丹丹 姜承慧 李士达 季一勤 张 锋 王利栓 姜玉刚 陈德应

[摘要]利用离子束溅射沉积制备了光学薄膜。基于椭圆偏振测量技术, 研究了折射率、膜层厚度和表面层厚度与测试光斑大小的关系。研究结果表明, 随着样品表面测试光斑尺寸的增加, 薄膜折射率变小, 膜层厚度、表面层厚度增加。...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(10):1031001

 基于二维相关分析的ZnS材料声子交互作用

刘华松 杨霄 刘丹丹 李士达 季一勤 张锋 陈德应

[摘要]硫化锌材料是长波红外光学窗口材料优选材料之一.针对化学气相沉积(CVD)和热压成形(HP)两种工艺制备的硫化锌材料, 研究了从室温到600℃的光谱透过率变化现象, 基于二维相关光谱分析技术, 获得了长波吸收区内的声子交互...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2017, 36(05):606

 射频磁控溅射法制备SnS薄膜及其结构和光学特性

刘丹丹 李学留 李琳 史成武 梁齐

[摘要]利用射频磁控溅射法在玻璃衬底上沉积SnS薄膜并对其进行快速退火处理, 利用X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)、X射线能量色散谱(EDS)、原子力显微镜(AFM)和紫外-可见-近红外(UV-Vis-NIR)分光光度计研究了不同溅射功率(...

 PDF全文发光学报 | 2016, 37(09):1114

 射频磁控溅射法制备SnS2薄膜结构和光学特性的研究

李学留 刘丹丹 梁齐 史成武 于永强

[摘要]采用射频磁控溅射法溅射SnS2 靶, 在玻璃基片上以不同射频功率和氩气压强制备一系列薄膜样品, 研究了不同工艺条件对薄膜特性的影响。利用X射线衍射(XRD)和拉曼光谱(Raman)对薄膜样品的晶体结构和物相进行表征分析。利...

 PDF全文发光学报 | 2016, 37(12):1521

 离子束溅射法制备碳化锗薄膜的红外光学特性和力学特性

孙鹏 胡明 张锋 季一勤 刘华松 刘丹丹 冷健 杨明 李钰

[摘要]采用离子束溅射法通过在CH4和Ar 的混合气体中溅射Ge靶材制备碳化锗(Ge1-xCx)薄膜.分别通过原子力显微镜、拉曼光谱和X射线光电子能谱、傅里叶变换红外光谱以及纳米压痕测试研究了薄膜的表面形貌、化学结构、光学特性和...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(02):133

 固体介质间隔层激光标准具性能的影响因素研究

刘华松 王利栓 季一勤 刘丹丹 姜玉刚 陈德应

[摘要]针对固体介质间隔层的镀膜标准具, 以1 064 nm激光镀膜标准具为例, 首先研究了反射膜堆数对反射带宽、基底厚度以及对自由光谱区的影响: 标准具的带宽随着膜层堆数增加而减小, 自由光谱区随着基板厚度的增加而减小;其次...

 PDF全文中国光学 | 2015, 8(01):74

 基于全息光刻系统制备528 nm周期孔阵图形

叶镇 王勇 高占琦 刘丹丹 庄允益 张思源 王晓华

[摘要]基于GaAs衬底采用全息光刻和湿法刻蚀技术制备周期孔阵图形。得出全息光刻双曝光最优曝光时间为60 s。采用H3PO4∶H202∶H2O=1∶1∶10 配比的刻蚀液,得出最佳刻蚀时间为30 s。扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(08):0809003

 全息光刻制备808 nm分布反馈半导体激光器的光栅

刘丹丹 王勇 叶镇 高占琦 张屿 王晓华

[摘要]实验优化设计了808 nm 分布反馈(DFB)半导体激光器的二级布拉格光栅结构,介绍了808 nm DFB 半导体激光器光栅制备的工艺过程。采用全息光刻方法和湿法腐蚀技术在GaAs 衬底片上制备了周期为240 nm 的光栅图形,全息光刻...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(02):0202008

 快速退火对PLD法制备SnS薄膜结构和光学性质的影响

刘 磊 马明杰 刘丹丹 郭慧尔 史成武 梁 齐

[摘要]利用脉冲激光沉积(PLD)法在玻璃基片上室温生长SnS薄膜, 并在Ar气保护下分别在200, 300, 400, 500, 600 ℃对薄膜进行快速退火处理。利用X射线衍射(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)、原子力显微镜(AFM)、场发射扫描电子显微镜...

 PDF全文发光学报 | 2015, 36(07):811

 金属氧化物薄膜在中波红外光谱区内光学常数色散特性

刘华松 季一勤 张锋 刘丹丹 冷健 王利栓 姜玉刚 陈德应 焦宏飞 鲍刚华 程鑫彬

[摘要]基于金属氧化物薄膜材料在中波红外波段应用的需求,研究了含水状态的TiO2、HfO2、Ta2O5和Y2O34种金属氧化物薄膜在中波红外波段内(2.5~5 μm)光学常数的色散特性。利用电子束蒸发沉积技术,在超光滑的硅表面制备了4...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(08):0831003

 金属氧化物薄膜光学常数计算物理模型应用研究

刘华松 姜承慧 王利栓 刘丹丹 姜玉刚 孙鹏 季一勤

[摘要]采用离子束溅射(IBS)方法制备了HfO2和Ta2O5两种金属氧化物薄膜, 通过测量薄膜的椭偏参数, 使用非线性最小二乘法反演计算获得薄膜的光学常数。 在拟合过程中, 采用L8(27)正交表设计了8组反演计算实验, 在初始选定...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2014, 34(05):1163-1167

 光学薄膜特性的锥角效应数值分析

刘华松 王利栓 刘丹丹 姜承慧 姜玉刚 孙鹏 季一勤

[摘要]建立非平行光入射多层膜的模型,给出了在圆形光束锥角入射时的薄膜特性表达式,对三类典型光学薄膜即多腔滤光片、非偏振分光薄膜和非偏振截止滤光薄膜的特性进行了数值实验。研究结果表明:随着光束入射锥角的增加,...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(01):0131003

 热处理对离子束溅射Ta2O5薄膜特性的影响

刘华松 姜承慧 王利栓 刘丹丹 季一勤 陈德应

[摘要]利用离子束溅射沉积技术制备了Ta2O5薄膜,在100~600 ℃的大气氛围中对其进行热处理(步进温度为100 ℃),并对热处理后样品的光学常数(折射率、折射率非均匀性、消光系数和物理厚度)、应力、晶向和表面形貌进行了研究。研...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(10):2645

 我国典型地区大气透过率的计算分析

刘丹丹 黄印博 魏合理 侯肖艳 秦琦冰

[摘要]主要分析了我国典型地区(西北地区、沿海地区及大陆地区)在2~12 μm波段整层透过率与标准 大气模式(1976年美国标准大气、中纬度夏季及中纬度冬季)的偏差,并比较分析了上述两种大气 模式下,6种主要吸收分子的透过率偏...

 PDF全文大气与环境光学学报 | 2013, 8(04):262-270

 激光钠信标荧光回波光子数的影响因素及其数值模拟

刘向远 钱仙妹 刘丹丹 黄宏华 饶瑞中

[摘要]大气中间层激光钠信标荧光回波光子的激发受到地磁场、钠原子碰撞以及反冲的影响。地磁场引起钠原子的拉莫尔进动,严重地削弱长脉冲和连续波激光与钠原子作用的光抽运;原子碰撞一定程度上增加了钠荧光平均回波光子通...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(06):0613001

 SiO2薄膜的可见光与红外波段光学常数的色散特性

刘华松 王利栓 姜承慧 刘丹丹 姜玉刚 吴炳俊 季一勤

[摘要]离子束溅射(IBS)与电子束蒸发(EBE)是常用的SiO2薄膜制备方法。基于椭圆偏振法和全光谱拟合法,研究了离子束溅射和电子束蒸发两种工艺方法制备的SiO2薄膜的可见光与红外波段光学常数色散特性。在可见光波段的色散...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(10):1031002

 基于时间控厚离子束溅射技术的宽带减反膜制备

刘华松 王占山 季一勤 沈正祥 马彬 程鑫彬 焦宏飞 陈德应 刘丹丹 宋洪君

[摘要]为了制备满足设计要求的宽角度、宽波段减反膜, 利用离子束溅射沉积技术, 在时间-功率控厚的模式下, 对膜层沉积速率进行了精确修正。在实验中, 利用时间-功率控厚的离子束溅射沉积技术, 选择HfO2和SiO2作为高低折射率...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(02):407-411

 不同工艺沉积的氧化铝薄膜研究

赵志宏 季一勤 刘丹丹 宗杰

[摘要]通过离子束溅射(IBS),离子束反应溅射(IBRS)和电子束蒸发(EBE)等沉积方式得到氧化铝膜层,并对其光学特性,表面粗糙度,膜层微结构以及膜层晶相构成进行了研究。研究表明,以IBS方法得到的膜层具有较高的折射率和致密...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):83

 超低剩余反射率单波长减反膜的制备与分析

刘华松 季一勤 王占山 陈德应 刘丹丹 王日 沈正详 马彬 姜福灏

[摘要]随着激光基准系统和高精度激光测量系统的发展,光学系统对薄膜元件的高性能需求也逐渐增加。在激光系统多层膜领域,减反膜元件可以成倍地减少通过多元件光学系统界面的反射,可以采用单层膜结构也可以采用多层膜,波...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):207

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