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 16 nm极紫外光刻物镜热变形对成像性能影响的研究

李艳秋 刘岩 刘丽辉

[摘要]16 nm极紫外光刻(EUVL)物镜热变形是影响其高分辨成像的主要因素之一。为了给EUVL系统热管理提供可靠的技术依据, 对数值孔径为0.33且满足16 nm技术节点的典型EUVL物镜进行热变形仿真研究。采用有限元软件ANSYS仿真曝光...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(01):0122001

 近红外大数值孔径平场显微物镜设计

周恩源 刘丽辉 刘 岩 曹 振

[摘要]为满足飞秒激光微纳加工系统对高加工精度和大加工范围的需求, 首先确定了该系统的重要组成部分-无限共轭距显微物镜所需具备的特性及设计指标。依据薄透镜组的初级像差理论, 针对飞秒激光波长推导出光学系统为校正匹兹...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(07):0718006

 组合倍率极紫外光刻物镜梯度膜设计

沈诗欢 李艳秋 姜家华 刘 岩 刘 克 刘丽辉

[摘要]10 nm以下光刻技术牵引极紫外(EUV)光刻物镜向超高数值孔径(NA)、组合倍率设计形式发展, 物镜系统的入射角和入射角范围因此急剧增大, 传统规整膜和横向梯度膜难以满足该类物镜系统反射率及像质要求。为此, 提出了横纵...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(08):0822002

 90 nm DUV光刻物镜重力变形及其对波像差影响分析

张芸 刘丽辉 李艳秋 刘岩

[摘要]本文基于数值孔径为0.75, 满足90 nm 技术节点的DUV 光刻物镜系统, 采用在透镜边缘施加支撑力的方式进行重力变形控制。采用有限元法研究透镜表面非球面变形与补偿力的关系, 分析补偿后透镜重力变形对系统波像差的影响...

 PDF全文光电工程 | 2015, 42(03):71

 模拟光刻中双层衰减相移接触孔衍射的理论公式

杨亮 李艳秋 刘克 刘丽辉

[摘要]为了仿真光刻中接触孔掩模的衍射, 建立了严格的三维(3D)掩模模型。采用法向矢量法(NV)改善了接触孔掩模耦合波方程的收敛性。利用S矩阵求解线性方程组避免了数值不稳定问题。对于双吸收层衰减相移接触孔掩模, 当有效的...

 PDF全文光学技术 | 2013, 39(05):413-418

 高分辨率光纤激光传感系统

肖浩 李芳 王永杰 刘丽辉 刘育梁

[摘要]提出并实现了一种基于光纤光栅(FBG)激光器的高分辨率光纤传感系统。通过在一段高增益有源光纤写入光纤光栅形成光纤激光传感器, 待测信号作用在激光器上引起激光频率变化, 采用偏振无关的非平衡迈克耳孙光纤干涉仪将激...

 PDF全文中国激光 | 2008, 35(01):87-91

 高灵敏度光纤光栅压力传感器

张文涛 Wentao Zhang 刘丽辉 Lihui Liu 李芳 Fang Li 刘育梁 Yuliang Liu

[摘要]本文目的在于提出一种新型的高灵敏度光纤光栅压力传感器。该传感器采用一种中心带有硬心的膜片结构进行增敏。理论分析和实验的结果均表明,硬心的半径对于传感器的压力灵敏度具有显著的影响。当硬心的半径为1.5mm时,...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2007, 5(09):507

 分布反馈光纤激光器模式特性分析

徐团伟 李芳 刘育梁 刘丽辉

[摘要]根据耦合波理论,在分析分布反馈(DFB)光纤激光器纵模特性的基础上,着重阐述其偏振特性。另外给出了偏振态同耦合系数和双偏振态相移量差的关系。理论分析结果表明,当分布反馈光纤激光器输出为0阶模时,输出激光的偏振状...

 PDF全文中国激光 | 2007, 34(10):1358-1362

 光强检测型光纤光栅温变不敏感动态压力传感研究

郭团 赵启大 刘丽辉 黄桂岭 薛力芳 李国玉 董波 刘波 张伟刚 开桂云 袁树忠 董孝义

[摘要]报道了基于光纤光栅反射谱带宽调制和光强差分检测技术实现单一光纤光栅温变不敏感动态压力传感的新方法。设计了一种结构新颖的双孔梁压力传感装置, 依据双孔梁有限元受力分析将光纤光栅准确定位于线性梯度应变区, 压...

 PDF全文光学学报 | 2007, 27(02):207-211

 带宽调制型单光纤光栅温变无补偿位移传感

郭团 赵启大 刘丽辉 黄桂岭 薛力芳 刘波 张伟刚 开桂云 董孝义

[摘要]报道了利用反射谱带宽调制和光强差分探测技术实现单一光纤光栅温变无补偿位移精确测量的新方法。设计了一种结构新颖的曲臂梁位移传感装置, 结合光波导理论与材料力学原理分析了光纤光栅在高斯应变作用下光栅反射谱侧...

 PDF全文光学学报 | 2007, 27(01):15-20

 波长无啁啾调谐窄线宽掺Yb3+双包层光纤激光器

李丽君 王志 范万德 付圣贵 张强 刘丽辉 袁树忠 董孝义

[摘要]用相位掩模法,在圆形掺Yb3+双包层光纤上制作了Bragg光纤光栅,并用它作为双包层光纤激光器的输出腔镜,在光栅反射中心波长1055.2nm位置得到了窄线宽的激光输出,FWHM为0.271nm,信噪比约为40dB.这种结构的双包层光纤激光...

 PDF全文光子学报 | 2005, 34(02):184-186

 双波长高灵敏度Bragg光纤光栅压力传感器

刘丽辉 赵启大 张昊 王志 金龙 赵路明 陈少华 张伟刚 董孝义

[摘要]裸光纤光栅压力灵敏度只有-2.05×10-6/MPa,这样并不能将其用于低压力范围内的测量.本文改进了封装结构,利用金属管结构对光纤光栅部分封装,制作成双波长高灵敏度光纤光栅压力传感器.其压力灵敏度在0~0.44MPa的范...

 PDF全文光子学报 | 2005, 34(02):315-318

 利用光纤环形镜提高级联长周期光栅干涉谱消光比的理论和实验分析

陈少华 赵启大 刘丽辉 郭澎 姚莹 闫宇 张东生 董孝义

[摘要]对级联长周期光栅干涉谱的特性进行了理论模拟,得到了输出端加入光纤环形镜,可以将其干涉谱消光比提高为原来两倍的结论.实验结果与理论相符.加入光纤环形镜的确为提高级联长周期光栅干涉谱消光比的一种简单有效的方法...

 PDF全文光子学报 | 2005, 34(12):1788-1791

 基于级联长周期光纤光栅的新颖温度传感器

陈少华 赵启大 刘丽辉 张东生 姚颖 郭澎南开大学现代光学研究所 天津 300071 闫宇 董孝义

[摘要]设计了一种基于级联长周期光纤光栅(Long period fiber graring)的新颖温度传感器。理论上得到光栅间光纤的长度随温度增加变化时,级联LPG的干涉峰将线性地向长波方向漂移,其消光比亦将呈现线性变化。实验上制作出...

 PDF全文量子电子学报 | 2005, 22(06):955-959

 光纤光栅传感器的解调技术进展

刘丽辉 赵启大 张昊 赵路明 闫宇 董孝义

[摘要]阐述了光纤光栅传感器解调技术在近年来的发展情况,简要说明了光纤光栅传感的基本原理,并分别讨论了光纤光栅传感器的几种解调技术的特点以及实验装置。

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2004, 41(07):35-39

 光纤布拉格光栅压力增敏的实验研究

刘丽辉 张伟刚 郭宏雷 曹晔 金龙 张昊 杨亦飞 赵启大 开桂云 董孝义

[摘要]近年来光纤光栅作为压力、温度、应变等传感器已经成功地应用于光纤传感领域中。然而裸露的光纤光栅对于外界物理参量的变化灵敏度不高,因此有必要对光纤光栅进行增敏封装,以提高其对外界环境变化的灵敏度。采用两种聚...

 PDF全文中国激光 | 2004, 31(10):1266-1268

 双折射光纤环形镜滤波器特性研究

刘丽辉 赵启大 周广 张昊 陈少华 冯新焕 董孝义

[摘要]双折射光纤环形镜具有滤波特性,将两个串联的双折射环形镜作为光学滤波器可以改善滤波特性,使其更为灵活。提出了用两个双折射光纤环形镜相串联的简单方案改善环形镜滤波特性。分析了由双折射光纤和萨尼亚克环构成的环...

 PDF全文光学学报 | 2004, 24(09):1185-1188

 一种结构新颖的L波段掺铒光纤激光器

张昊 于岭 杨石泉 刘艳格 刘丽辉 肖纯贤 熊凌云 袁树忠 董孝义

[摘要]提出了一种结构新颖的L波段环形腔掺铒光纤激光器。用掺铒光纤作为增益介质,采用980 nm激光器作为前向抽运源,利用起偏器和偏振控制器获得L波段激光,利用光环形器将后向的放大自发辐射再引入铒光纤的前端,重复利用...

 PDF全文光学学报 | 2004, 24(07):929-931

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