首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 光子学报 '刘卫国', 共找到 5个内容。

   将选定结果: 

 低能Kr+离子束诱导蓝宝石晶体实验研究

费芒芒 陈智利 刘卫国 刘雨昭 惠迎雪

[摘要]使用微波回旋共振离子源制备蓝宝石(A向)自组织纳米结构, 研究不同入射角度下Kr+离子束刻蚀蓝宝石表面形成的自组织纳米结构及其形成过程.采用等离子体与离子束刻蚀设备在不同入射角度下对蓝宝石样品表面进行刻蚀并通过...

 PDF全文光子学报 | 2019, 48(06):0616004

 基于磁控溅射和ICP刻蚀的RB-SiC表面平坦化工艺

赵杨勇 刘卫国 惠迎雪

[摘要]采用射频磁控溅射技术在RB-SiC表面沉积Si平坦化层, 通过正交试验研究了射频功率、Ar流量和工作气压三个因素对薄膜表面质量和形貌的影响规律, 以获取最佳的薄膜沉积参数.射频功率120 W、工作气压1.2 Pa和Ar流量40 scc...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(03):0324001

 装夹自重变形对大口径绝对面形检测的影响

赵思伟 田爱玲 王大森 刘丙才 朱学亮 刘卫国

[摘要]针对立式大口径平面干涉仪, 采用结合Zernike多项式的三平面互检面形检测方法, 研究参考平面在装夹情况下的自重变形对绝对面形检测结果的影响.运用ANSYS有限元分析方法研究了不同参数下的装夹和自重变形情况, 得到了最...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(02):0212004

 低能离子束诱导Ag表面纳米金字塔微结构

陈智利 刘卫国 张锦 王蒙皎

[摘要]利用离子束溅射诱导实验方法,在单晶Si(100)基底上辅助沉积银膜,研究了低能Ar+离子束30°入射时,不同离子束能量和束流密度以及基底温度对Ag纳米结构的影响.结果表明:在较低基底温度下(32 ~100℃)辅助沉积...

 PDF全文光子学报 | 2014, 43(01):0116003

 氧化镁薄膜的腐蚀速率研究

蔡长龙 刘欢 马卫红 刘卫国

[摘要]研究了以氧化镁(MgO)为牺牲层材料制作热成像阵列器件过程中MgO膜层在磷酸溶液中的湿法腐蚀特性,包括横向腐蚀速率和纵向腐蚀速率,获得了MgO膜层的腐蚀速率随磷酸溶液浓度和温度变化的关系曲线,并得到了用于制作图形...

 PDF全文光子学报 | 2006, 35(10):1547-1550

首页上一页1下一页尾页