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 拼焊式SiC反射镜热变形分析

黄健 刘岩 刘学建 黄政仁 马臻

[摘要]为了考核拼焊式SiC反射镜在一定温度波动范围内的面形稳定性,利用有限元方法模拟了在温度水平试验条件5℃温差下反射镜的热变形情况。利用曲面方程拟合方法处理镜面变形数据,计算出变形后的镜面面型误差RMS值为1.841nm...

 PDF全文光学技术 | 2015, 41(04):336

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