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 90 nm DUV光刻物镜重力变形及其对波像差影响分析

张芸 刘丽辉 李艳秋 刘岩

[摘要]本文基于数值孔径为0.75, 满足90 nm 技术节点的DUV 光刻物镜系统, 采用在透镜边缘施加支撑力的方式进行重力变形控制。采用有限元法研究透镜表面非球面变形与补偿力的关系, 分析补偿后透镜重力变形对系统波像差的影响...

 PDF全文光电工程 | 2015, 42(03):71

 共面多目标交会方法及误差分析

闫海霞 刘岩俊

[摘要]针对多台弹道相机使用前方交会方法进行地面附近同时多炸点目标测量时出现大量假目标问题,本文提出剔除共面多目标交会产生的假目标方法和提高测量精度的偏最小二乘多元回归分析方法。该方法根据多台测量分站交会点共面...

 PDF全文光电工程 | 2008, 35(08):15-19

 一种基于小波子带熵的遥感图像压缩算法

隋玉萍 杨成禹 刘岩俊 王军 魏仲慧 何昕

[摘要]提出了一种使用小波子带熵进行比特分配的遥感图像压缩算法。对遥感图像进行小波提升分解后,分析了各高频子带能量百分比及其熵的变化趋势,在此基础上提出了一种新的快速比特分配方法-使用子带熵进行比特分配。然后对各...

 PDF全文光电工程 | 2008, 35(02):61-65

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