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   将选定结果: 

 基于强化学习的准分子激光器能量控制算法研究

孙泽旭 冯泽斌 周翊 刘广义 韩晓泉

[摘要]光刻用准分子激光器的能量特性在集成电路的光刻过程中至关重要,直接影响光刻机曝光线条的精度。为了实现对于衡量能量特性的能量稳定性和剂量精度的精确控制,从放电电压调节的角度对激光脉冲的能量特性控制进行了研究...

 PDF全文中国激光 | 2020, 47(09):0901002

 基于准分子激光绝对波长校准的寻峰算法研究

袁靖超 赵江山 李慧 刘广义

[摘要]准分子激光绝对波长校准技术中, 参考中心波长位置抖动是影响校准精度的主要因素, 寻峰算法是解决这类问题的有效途径。通过仿真和实验研究比较了5种寻峰算法, 结果显示, 高斯非线性曲线拟合寻峰法误差最小, 算法平均误...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(07):0701003

 高效率ArF 准分子激光复合腔技术研究

范元媛 周翊 刘广义 宋兴亮 单耀莹 王倩 赵江山

[摘要]短波长、高光子能量的ArF 准分子激光在集成电路光刻、材料加工、激光医学等领域具有重要的应用。结合线宽压窄技术方案设计了193 nm ArF 准分子激光器复合腔结构,理论分析了复合腔结构能量提升的原理。针对准分子激光...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(02):0202001

 高能窄带激光系统中光谱纯度检测的实验研究

吴月婷 范元媛 刘广义 周翊

[摘要]针对高能窄带激光系统对光谱纯度检测的需求,提出通过精确测量激光光谱能量分布情况分析光谱纯度的方法,并进行了相关实验研究。该光谱纯度检测装置主要由中阶梯光栅、精密移动刀口、灵敏功率计等组成,实验利用该装...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(07):073002

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