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 集成Ag基反射镜的GaN基LED薄膜芯片的静电失效演变

刘时彪 王光绪 吴小明 莫春兰 张建立

[摘要]对集成Ag基反射镜的垂直结构GaN基发光二极管(LED)薄膜芯片施加ESD(electro-static discharge)冲击,观察其静电失效的现象并对失效演变的过程进行研究。结果表明,LED芯片经过ESD冲击后,内部会随机出现ESD黑点。随着ESD...

 PDF全文光学学报 | 2020, 40(10):1023001

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