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 激光预处理提升DKDP晶体加工表面的抗损伤能力

罗 阳 胡国行 赵元安 杨留江 曹 珍 李大伟 刘晓凤

[摘要]针对晶体表面的损伤特性，采用小光斑扫描激光预处理技术预辐照DKDP晶体元件，并采用表面损伤自动探测系统实时分析每个脉冲辐照后晶体表面的损伤情况，比较预处理和未预处理区域的损伤点密度确定表面预处理效果，并进...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(08):1987

 基底晶态对HfO₂薄膜晶向结构和力学特性的影响

郭佳露 刘晓凤 赵元安 邵建达 赵娇玲 黄昊鹏 崔岩岩

[摘要]用电子束蒸发技术在晶体及激光陶瓷两种基底上沉积了氧化铪（HfO2）单层膜，采用掠角X射线衍射（GIXRD）技术和纳米划痕仪对薄膜的晶向结构和力学特性进行了研究。实验结果表明，HfO2薄膜在单晶晶体和多晶陶瓷基底上均...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(06):0603001

 高性能偏振膜的研制

朱美萍 孙 建 张伟丽 赵元安 刘晓凤 赵娇玲 易 葵 邵建达

[摘要]综述了国内外科研人员在高性能偏振膜的研制方面开展的工作, 主要涉及偏振膜光谱性能、抗激光损伤阈值和膜层应力控制等方面的研究。针对我国神光系列装置对偏振膜的性能要求, 简述了中国科学院上海光学精密机械研究所...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(12):2908

 激光预处理技术及其应用

赵元安 胡国行 刘晓凤 李大伟 朱美萍 易 葵 邵建达

[摘要]回顾了国内在激光预处理技术研究方面取得的进展。综述了基于激光预处理技术提升基频介质膜、磷酸二氢钾/高掺氘磷酸二氢钾(KDP/DKDP)晶体等光学元件抗激光损伤性能的机理、效果和关键技术。针对高功率激光驱动器中关键...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(12):2938

 真空环境下光学薄膜的本征损伤机理研究

凌秀兰 王高 刘晓凤

[摘要]基于光学薄膜与环境因素的耦合过程及激光与光学薄膜相互作用的热力损伤过程，分析了真空环境下光学薄膜激光损伤的本征机制。研究显示，真空环境下水的解析引起了电子束沉积的多孔薄膜孔隙率的释放，使得电子束沉积的...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(05):053101

 光电信号接收器尺寸对光学薄膜弱吸收测量的影响

符燕燕 李大伟 刘晓凤 赵元安 郭猛 张蕾

[摘要]基于表面热透镜技术搭建了光学薄膜弱吸收测量系统，使用不同功率的抽运光辐照样品，并通过光束质量分析仪记录经样品表面反射后的探测光强度的空间分布，以探测光强度最强点所对应的像素坐标为中心两边对称取多个像素...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(07):0707001

 基频反射膜元件表面等离子体烧蚀对传输光束畸变的影响

陈惟肖 李大伟 刘晓凤 刘文文 方周 张蕾

[摘要]激光预处理后的高反膜表面会形成等离子体烧蚀，等离子体烧蚀结构的存在会对传输光束的光强分布产生调制效应，引起光束畸变。实验测试了1064 nm连续光束经过烧蚀样品后的光斑能量分布，分析了产生调制的原因并讨论了这...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(03):0331003

 光学薄膜中节瘤缺陷研究进展

单永光 刘晓凤 贺洪波 范正修

[摘要]结合本实验室及国内外同行的工作进展，概括性地介绍了光学薄膜中节瘤缺陷的生长特性、结构特征和损伤特性，以及激光预处理和破坏修复技术的研究进展。节瘤种子的尺寸、形状和表面特性决定了节瘤缺陷的尺寸、边界结构...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(06):1421-1429

 激光预处理对HfO2单层膜缺陷的影响

李笑 赵元安 刘晓凤 邵建达 范正修

[摘要]本文利用激光诱导损伤阈值的光斑效应研究了激光预处理对电子束蒸发制备的HfO2单层膜缺陷的影响。研究表明HfO2单层膜的损伤阈值可以提高1.3～1.6倍，同时，激光预处理可以清除薄膜中低阈值缺陷，部分高阈值缺陷也可以...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(06):615

 利用损伤几率曲线拟合研究ZrO2/SiO2高反射膜的激光预处理机理

李笑 刘晓凤 赵元安 邵建达 范正修

[摘要]本文引入激光诱导损伤几率曲线拟合方法研究ZrO2/SiO2高反射膜的激光预处理机理。测得样品预处理扫描前后的损伤阈值后，利用损伤几率曲线拟合出缺陷的参数。实验表明，激光预处理的作用包括两个方面：清除薄膜中低阈值...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(06):598

 应用于激光损伤阈值测试中的损伤自动检测系统

刘晓凤 李大伟 赵元安 李笑 凌秀兰 邵建达

[摘要]一种探测等离子闪光信号的损伤自动检测系统被应用于激光损伤阈值测试中。实验验证了此系统检测损伤的准确性，并分析了探测的等离子体信号与损伤形貌的关系。结果表明此系统获得的诊断结果与显微镜诊断的结果达到很好...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(04):407

 45° HfO₂/SiO₂ 高反镜在1-on-1和N-on-1测试下的损伤特性研究

刘晓凤 李大伟 赵元安 李笑 凌秀兰 邵建达

[摘要]对电子束蒸发氧化铪和氧化硅材料镀制的1064nm， P分量，45°高反镜进行1-on-1和N-on-1测试。利用显微镜和扫描电镜比较和分析了两种测试后样品的破坏形貌。实验发现：N-on-1的测试阈值高于1-on-1测试阈值；节瘤缺...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(01):41

 激光预处理对SiO₂单层膜中缺陷的影响

李笑 刘晓凤 赵元安 邵建达

[摘要]采用小光斑激光预处理扫描SiO2单层膜，利用激光损伤阈值的光斑效应对预处理前后SiO2单层膜中缺陷的影响进行分析，并引入缺陷阈值和缺陷密度来表征薄膜中引起损伤的缺陷。研究表明，激光预处理可以使SiO2单层膜在采用...

 PDF全文中国激光 | 2010, 37(06):1626-1630

 激光预处理ZrO₂-SiO₂ 1064 nm高反射膜的机理

李笑 刘晓凤 单永光 赵元安 邵建达 范正修

[摘要]分析了激光预处理对ZrO2-SiO2 1064 nm 高反射膜激光损伤阈值以及引起损伤缺陷的影响。在以缺陷损伤阈值和缺陷密度表征缺陷的基础上,研究了预处理前后薄膜中引起损伤缺陷的变化情况。研究了激光预处理能量和预处理效果...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(08):2284-2289

 多腔诱导透射滤光片缺陷的成因分析及抑制

卢宝文 徐学科 刘光辉 胡国行 刘晓凤 范正修

[摘要]多腔诱导透射滤光片制备后出现的缺陷,严重地影响了薄膜样品的品质以及环境稳定性。实验用热蒸发的方法在室温浮法玻璃基底上制备了四腔诱导透射滤光片。用光学显微镜观测了缺陷的形貌,将缺陷分为不同类型的点状缺陷和...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(07):2149-2153

 SiO₂保护膜对高反膜激光损伤特性的改善

刘晓凤 李笑 赵元安 李大伟 邵建达 范正修

[摘要]为了研究高功率系统中高反膜的损伤机制, 对高功率系统中最常用的基频高反膜进行了损伤实验。利用台阶仪、扫描电镜、表面轮廓仪等手段, 对实验样品的典型损伤形貌进行了比较和分析。结果表明：保护膜的存在增强了样品...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2010, 22(12):2860-2864

 HfO2单层膜的吸收和激光损伤阈值测试

李淑红 贺洪波 刘晓凤 单永光 周明 李大伟 赵元安 范正修

[摘要]薄膜吸收是降低膜层激光损伤阈值的重要原因,为了研究薄膜吸收对激光损伤阈值的影响, 对HfO2单层膜在1 064 nm处的吸收及其在不同波长激光辐照下的损伤阈值进行了测试和分析。研究结果表明: 薄膜的激光损伤阈值由薄膜吸...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2010, 22(11):2596-2598

 电子束蒸发制备HfO2/SiO2高反膜的1064 nm激光预处理效应

刘晓凤 李大伟 李笑 赵元安 邵建达

[摘要]激光预处理是提高薄膜元件抗激光损伤阈值的重要手段。对电子束蒸发HfO2, SiO2块状材料镀制的基频高反膜进行了1-on-1和R-on-1阈值测试,比较分析了两种测试情况下出现的典型损伤形貌。实验发现, R-on-1测试表现出明显的...

 PDF全文中国激光 | 2009, 36(06):1545-1549