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 High-sensitivity fiber liquid crystals temperature sensor with tiny size and simple tapered structure

张海 尚建宇 刘秀娟 孙伟民 王斐儒 刘永军

[摘要]

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2020, 18(10):101202

 CCD多晶硅层间绝缘介质对器件可靠性的影响

刘秀娟 廖乃镘

[摘要]采用扫描电子显微镜和电学分析技术研究了电荷耦合器件(CCD)多晶硅层间绝缘介质对器件可靠性的影响。研究结果表明,常规热氧化工艺制作的多晶硅介质层,在台阶侧壁存在薄弱区,多晶硅层间击穿电压仅20V,器件在可靠...

 PDF全文半导体光电 | 2016, 37(02):178

 ICPCVD-SiNx对GaN/AlGaN基紫外探测器的钝化效果的研究

刘秀娟 张燕 李向阳

[摘要]采用ICPCVD-SiNx薄膜对GaN/AlGaN基紫外探测器进行钝化, 从薄膜绝缘特性、钝化效果两方面, 对ICPCVD-SiNx、磁控溅射-SiOx、PECVD-SiOx和PECVD-SiNx四种钝化膜进行对比。制作了钝化膜/GaN MIS器件, 通过测试MIS器件漏电...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(01):20

 利用ICPCVD方法在GaN上沉积氧化硅薄膜的特性

刘秀娟 张燕 李向阳

[摘要]使用感应耦合等离子体化学气相沉积(Inductively coupled plasma chemical vapor deposition, ICPCVD)方法在GaN上沉积SiOx薄膜, 生长参数中采用不同RF功率, 研究RF功率对薄膜物理性能和电学性能的影响.结果发现, 随着...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(01):23

 数字激光散斑图像的极值位移测量法

邱天 郭立 李东晖 刘秀娟 朱俊株

[摘要]通过对数字激光散斑特性的研究,提出了一种利用激光散斑图像的极值点进行二维位移测量的极值位移测量法.该方法采集发生位移前后的两幅数字激光散斑图像,分别寻找它们的极值点,利用极值点之间的相互关系以及极值点对出...

 PDF全文光电工程 | 2006, 33(09):59-62

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