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 硅掺杂氧化锡柔性薄膜晶体管的制备与特性

张建东 刘贤哲 张啸尘 李晓庆 王磊 姚日晖 宁洪龙 彭俊彪

[摘要]研究了柔性非晶硅掺杂氧化锡(SiSnO,STO)薄膜晶体管的电学特性及其在弯曲状态下的电学特性。通过射频磁控溅射在聚酰亚胺(Polyimide,PI)衬底上制备出了柔性非晶硅掺杂氧化锡薄膜晶体管。通过对比不同退火温度的器件性能...

 PDF全文发光学报 | 2018, 39(07):968

 溶液法制备氧化锡薄膜及光学特性研究

王佳良 刘贤哲 邓宇熹 袁炜键 周尚雄 张啸尘 姚日晖 宁洪龙 彭俊彪

[摘要]采用五水合氯化锡配制前驱体溶液,通过旋涂法在玻璃基底上制备了一种可见光平均透射率在90%以上的氧化锡透明薄膜。研究发现,对玻璃基底进行等离子预处理有助于改善氧化锡薄膜的表面质量。当等离子处理功率为25 W时,...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(10):1031001

 基于柔性显示器件的氧化铝介电层室温制备

姚日晖 郑泽科 曾勇 胡诗犇 刘贤哲 陶瑞强 陈建秋 蔡炜 宁洪龙 徐苗 王磊 兰林锋 彭俊彪

[摘要]在室温环境下采用射频磁控溅射方法制备了氧化铝(Al2O3)薄膜, 通过调节溅射气压实现了对薄膜特性的优化控制。当溅射功率为120 W、Ar气压强为0.13 Pa时, 制备的Al2O3薄膜具有最好的厚度均匀性, 薄膜中Al和O的原子比为1...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(03):0331001

 室温生长AZO/Al2O3叠层薄膜晶体管性能研究

宁洪龙 曾 勇 姚日晖 刘贤哲 陶瑞强 郑泽科 方志强 胡诗犇 陈建秋 蔡 炜 徐 苗 兰林锋 王 磊 彭俊彪 李正操

[摘要]针对目前大多数氧化物薄膜晶体管都需要采用热退火工艺来提高其性能不利于其在柔性显示器件中应用这一问题, 提出了一种采用室温工艺制备的新型TFT器件, 无需退火处理即可获得较好的器件性能。该器件采用脉冲激光沉积技...

 PDF全文发光学报 | 2016, 37(11):1372

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