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 高效率ArF 准分子激光复合腔技术研究

范元媛 周翊 刘广义 宋兴亮 单耀莹 王倩 赵江山

[摘要]短波长、高光子能量的ArF 准分子激光在集成电路光刻、材料加工、激光医学等领域具有重要的应用。结合线宽压窄技术方案设计了193 nm ArF 准分子激光器复合腔结构,理论分析了复合腔结构能量提升的原理。针对准分子激光...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(02):0202001

 熔融石英棱镜在准分子激光光谱控制系统中的应用研究

单耀莹 赵江山 李慧 王倩 沙鹏飞 周翊 周军 袁志军 张海波 楼祺洪

[摘要]针对准分子激光器的相关应用,对准分子激光进行光谱控制是非常必要的。相关光谱控制主要包括激光线宽窄化及激光中心波长的稳定输出,常用的线宽压窄方式是利用扩束棱镜组结合光栅构成线宽压窄模块达到激光线宽窄化的...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(04):0402008

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