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 大面阵内线转移CCD二次金属铝刻蚀残留研究

袁安波 李睿智 向鹏飞 郭培 龙飞

[摘要]分析了引起大面阵内线转移CCD直流短路的原因, 确认了二次金属铝刻蚀残留是引起器件失效的主要原因。利用扫描电子显微镜技术, 研究了刻蚀工艺参数对内线转移CCD二次金属铝刻蚀残留的影响。优化了预刻蚀、主刻蚀和过刻...

 PDF全文半导体光电 | 2017, 38(03):365

 CCD新型遮光层工艺技术研究

向鹏飞 姜华男 曲鹏程 杨修伟

[摘要]针对内线转移CCD金属铝遮光技术存在的漏光问题, 对比了不同难熔金属材料的遮光性能, 选择漏光率较低的氮化钛金属作为新型遮光层材料。研究了不同气体配比、不同射频功率和腔体压力对氮化钛刻蚀选择比、条宽控制等参数...

 PDF全文半导体光电 | 2016, 37(05):694

 黑硅的无掩模反应离子刻蚀法制备及光学性能研究

廖乃镘 向鹏飞 李仁豪

[摘要]采用无掩模反应离子刻蚀法制备了黑硅。利用扫描电子显微镜及紫外-可见-近红外分光光度计研究了黑硅的微结构和光学特性。结果表明, 黑硅微结构高度为2.0~3.5μm, 径向尺寸90~400nm, 间距200~610nm。在400~1000nm光谱范...

 PDF全文半导体光电 | 2016, 37(01):41

 基于双目视觉的标志点定位系统硬件设计

王立钢 马国欣 向鹏

[摘要]双目视觉通过模仿人类视觉来获得物体的深度信息,使机器具有从二维图像认知三维环境的能力。针对特定应用场合,建立一种自主设计的反光标志点,通过被动式反射光源发出的光来进行定位。基于双目视觉原理搭建试验平台,分...

 PDF全文光学仪器 | 2015, 37(02):160

 CCD彩色滤光片的制备与集成技术研究

黄 建 向鹏飞 陈红兵 李仁豪

[摘要]介绍了彩色CCD的器件结构和成像原理,采用彩色光刻胶光刻法实现了彩色滤光片的制备,并通过分析彩色滤光片缓冲层、滤光片厚度和固化工艺等对滤光片性能的影响,获得了彩色滤光片的片上集成技术,并将其集成在512×51...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(05):728

 高反射率电极及n-GaN表面粗化的InGaN/GaN多量子阱LED的研制

林秀其 柳铭岗 杨亿斌 任远 陈扬翔 向鹏 陈伟杰 韩小标 藏文杰 林佳利 罗慧 张佰君

[摘要]采用高反射率的Cr/Al/Pd/Au作为LED的p-GaN和n-GaN金属电极,替代低反射率的Cr/Pd/Au电极,减小了金属电极对光的吸收,使入射到高反射率金属电极的光经过反射后增加了出射概率,提高了光萃取效率.通过进一步粗化n-GaN表面...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(03):382

 一种提高SOI电光开关消光比的优化设计

王皓 瞿鹏飞 田自君 向鹏飞 孙力军

[摘要]针对电流注入型SOI光开关在切换时难以克服的消光比变差的问题,提出了一种非对称的开关结构设计.然后依照实际器件的结构建立了SOI光开关的3D光学模型,对光开关中3D光场传输和输出光功率进行了模拟与分析.最后运用该模...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(03):375

 高反射率电极及n-GaN表面粗化的InGaN/GaN多量子阱LED的研制

林秀其 柳铭岗 杨亿斌 任远 陈扬翔 向鹏 陈伟杰 韩小标 藏文杰 林佳利 罗慧 张佰君

[摘要]采用高反射率的Cr/Al/Pd/Au作为LED的p-GaN和n-GaN金属电极,替代低反射率的Cr/Pd/Au电极,减小了金属电极对光的吸收,使入射到高反射率金属电极的光经过反射后增加了出射概率,提高了光萃取效率.通过进一步粗化n-GaN表面...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 35(03):382

 一种提高SOI电光开关消光比的优化设计

王皓 瞿鹏飞 田自君 向鹏飞 孙力军

[摘要]针对电流注入型SOI光开关在切换时难以克服的消光比变差的问题,提出了一种非对称的开关结构设计.然后依照实际器件的结构建立了SOI光开关的3D光学模型,对光开关中3D光场传输和输出光功率进行了模拟与分析.最后运用该模...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 35(03):375

 刻蚀小尺寸CCD接触孔工艺研究

向鹏飞 邓涛 杨修伟 高建威

[摘要]采用CF4, CHF3, Ar三种工艺气体进行小尺寸CCD接触孔刻蚀实验, 研究了不同气体配比、不同射频功率对刻蚀速率、选择比、条宽控制、侧壁形貌等参数的影响。通过优化工艺参数, 比较刻蚀结果, 最终获得了适合于刻蚀CCD小孔...

 PDF全文半导体光电 | 2014, 35(03):451-453

 手机附加鱼眼镜头的光学设计

向鹏 王立钢

[摘要]为增加手机摄像头的应用范围,设计了一种视场角达到180°的鱼眼镜头。用附加镜头的方法可使手机摄像头获得鱼眼拍照效果。使用Zemax光学设计软件,采用“负-负-正”三片式反摄远型镜头结构,设计出了一款无焦的鱼眼附...

 PDF全文光学仪器 | 2013, 35(06):48-52

 一种新的微透镜阵列制作技术

向鹏飞 李贝 袁安波

[摘要]介绍了一种利用光刻、等离子体刻蚀和高温热熔等工艺在PMMA材料上制作折射微透镜的新方法, 该方法具有刻蚀工艺容差大、热熔后球冠形貌好、易于和CCD实现工艺集成等优点。经过对各个工艺参数的优化实验, 制备出了具有良...

 PDF全文半导体光电 | 2012, 33(02):197-200

 CCD热工艺过程的硅片翘曲优化研究

吴可 邓涛 雷仁方 向鹏飞

[摘要]针对光刻线宽均匀性控制问题,研究了硅片翘曲度对光刻线宽均匀性的影响。采用翘曲度测试仪研究热工艺过程中硅片翘曲度的变化。研究结果表明,硅片翘曲度对线宽均匀性产生重要的影响,翘曲度大,则线宽均匀性降低。通...

 PDF全文半导体光电 | 2012, 33(01):70-73

 极紫外多层膜残余应力初步研究

向鹏 金春水 张立超 金伟华 刘颖敏 曹健林

[摘要]针对极紫外多层膜在激光等离子体诊断、极紫外光刻等方面的应用,进行了Mo/Si多层膜残余应力的实验研究,讨论了多层膜残余应力的成因.实验结果表明:Mo单层膜表现为张应力, Si单层膜表现为压应力;通过传统方法制备的13.0...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2005, 17(03):377-380

 离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法

林强 金春水 向鹏 曹健林

[摘要]介绍计算机辅助装调方法在离轴照明EUVL光学系统中的应用,阐述了一种基于奇异值分解(SVD)的牛顿迭代法来求解失调量.利用该方法对敏感矩阵进行分解,从中分析得到影响不同像差的结构参数的敏感性,并筛选出补偿器,求出相...

 PDF全文光学 精密工程 | 2003, 11(02):144-150

 Mo/Si多层膜残余应力的研究

向鹏 金春水

[摘要]在极紫外光刻技术中,光学系统对多层膜光学元件表面面形精度有严格的要求,并且多层膜光学元件需要较高的反射率.由于多层膜中存在的内应力将改变光学元件的表面面形,因此在不减少反射率的前提下,一定要减少或补偿多层膜...

 PDF全文光学 精密工程 | 2003, 11(01):62-67

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