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 旋涂法制备氧化锆介质层及其在薄膜晶体管中的应用

钟云肖 周尚雄 姚日晖 蔡炜 朱镇南 魏靖林 徐海涛 宁洪龙 彭俊彪

[摘要]采用旋涂法制备了氧化锆介质层薄膜, 重点讨论了退火温度以及旋涂转速对薄膜性能的影响及作用机制。研究发现高温后退火一方面使得氧化锆水合物脱水形成氧化锆, 另一方面促使氧化锆薄膜结晶。此外, 转速较高时, 其变化...

 PDF全文发光学报 | 2018, 39(02):214

 溶液法制备氧化锡薄膜及光学特性研究

王佳良 刘贤哲 邓宇熹 袁炜键 周尚雄 张啸尘 姚日晖 宁洪龙 彭俊彪

[摘要]采用五水合氯化锡配制前驱体溶液,通过旋涂法在玻璃基底上制备了一种可见光平均透射率在90%以上的氧化锡透明薄膜。研究发现,对玻璃基底进行等离子预处理有助于改善氧化锡薄膜的表面质量。当等离子处理功率为25 W时,...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(10):1031001

 溶液法氧化物薄膜晶体管的印刷制备

钟云肖 谢宇 周尚雄 史沐杨

[摘要]溶液法印刷制备电子器件因具有绿色环保、低成本、流程简单、柔性好和适应性强等优良特性, 受到世界各个国家的重视, 尤其高性能薄膜晶体管是平板显示和消费电子行业的基石, 更成为了研究的热点。本文综述了基于溶液法...

 PDF全文液晶与显示 | 2017, 32(06):443

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