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 缺陷对极紫外掩模多层结构反射场的扰动研究

李冠楠 刘立拓 周维虎 石俊凯 陈晓梅

[摘要]极紫外光刻掩模具有特殊的多层膜堆叠的反射式结构, 在工艺制造过程中极易产生缺陷, 引起多层膜结构变形, 从而对掩模反射场产生干扰。这种掩模缺陷是制约极紫外光刻技术发展的难题之一。建立了含有缺陷的极紫外掩模多...

 PDF全文半导体光电 | 2020, 41(02):217

 面向激光跟踪仪跟踪恢复的合作目标视觉检测

王 博 董登峰 周维虎 高豆豆

[摘要]为了实现复杂场景下激光跟踪仪跟踪恢复过程中合作目标靶球的检测, 本文研究了基于深度学习的靶球检测方法。首先, 分析靶球自身特点、应用环境及它在跟踪恢复过程中的作用, 然后根据Faster R-CNN模型原理与跟踪恢复应...

 PDF全文光学 精密工程 | 2020, 28(02):271

 基于EPNP算法的单目视觉测量系统研究

张慧娟 熊 芝 劳达宝 周维虎

[摘要]利用计算机视觉进行姿态测量的方法已广泛应用于现代控制、导航、跟踪等多个领域中。研究并设计了一种基于P4P矩形分布的平面靶标和EPNP算法结合的单目视觉姿态测量方法。首先, 利用单相机获取平面靶标图像, 经图像处理...

 PDF全文红外与激光工程 | 2019, 48(05):0517005

 基于单目视觉的姿态自动测量方法

劳达宝 张慧娟 熊芝 周维虎

[摘要]提出一种将EPnP算法和SoftPOSIT算法融合的单目视觉姿态自动测量方法.首先, 利用EPnP算法计算得到立体靶标的位姿参数, 并将该位姿参数作为SoftPOSIT算法的迭代初始值带入.其次, 将SoftPOSIT算法计算位姿的的迭代过程与...

 PDF全文光子学报 | 2019, 48(03):0315001

 飞秒激光跟踪仪跟踪光路的优化设计与分析

劳达宝 崔成君 王国民 周维虎

[摘要]基于光学系统对跟踪探测的影响, 结合仪器功能, 提出了一种基于胶合透镜减小跟踪偏移量的方法, 实现了对飞秒激光跟踪仪跟踪光路的优化; 改进了准直扩束光路, 细化了光学系统, 分析了优化后光学系统在接收功率和杂光方...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(03):0304005

 偏振调制测距系统频率漂移误差及其补偿

高书苑 黎 尧 纪荣祎 石俊凯 胡哲文 周维虎

[摘要]偏振调制测距方法中, 频率测量的稳定性是影响测距精度的关键因素。为提高偏振调制测距系统中频率测量精度, 提出一种双向扫频频率测量方法。分析了偏振调制测距原理及测频精度与测距精度的关系, 探讨了频率漂移量的影...

 PDF全文光学 精密工程 | 2019, 27(02):279

 结构紧凑的双波长连续波掺铒光纤激光器

石俊凯 王国名 纪荣祎 周维虎

[摘要]多波长掺铒光纤激光器在波分复用光学通信等领域具有广阔的应用前景, 引起了大量关注。为了满足不同场合的应用需求, 本文报道了一种结构紧凑、基于非线性放大光纤环镜的双波长连续运转掺铒光纤激光器。该激光器采用全...

 PDF全文中国光学 | 2019, 12(04):810

 圆光栅测角传感器在线自校准系统研制与实验

张文颖 劳达宝 周维虎 朱浩然

[摘要]为了解决测角系统在实际应用中的在线校准问题, 设计了一种圆光栅测角传感器在线自校准系统。基于圆封闭原则和傅里叶级数的性质, 建立了测量值与单读数头误差之间的关系, 实现单读数头自校准。该自校准系统由读数头、...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(01):0117004

 角反射器对调制偏振光的偏振响应研究

高书苑 石俊凯 纪荣祎 黎尧 周维虎

[摘要]偏振调制测距方法利用往返调制偏振光传递待测距离相位信息,角反射器作为其合作目标,其对调制偏振光的偏振响应会影响系统性能。为研究该响应,提出调制偏振光的复信号描述方法,在测量系统的全局坐标系下,结合偏振...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(12):1204005

 大尺寸平面激光扫描补偿系统误差分析

郝春艳 高天元 劳达宝 周维虎 朱启凡

[摘要]扫描补偿系统是3DLIF水体测量系统中实现大尺寸平面激光等光程扫描的关键部分,决定了平面激光光束在流体水槽中的定位精度;系统3 000 mm长的光程和500 mm宽的光源使定位精度难以保证。针对该问题,分析了扫描补偿系统...

 PDF全文应用光学 | 2018, 39(01):124

 基于多头读数布局的圆光栅自校准方法研究

张文颖 劳达宝 周维虎 朱浩然

[摘要]针对测角系统在线校准问题,提出了一种基于多读数头布局的自校准方法。通过多组传感器的测量数据,利用圆封闭原则和傅里叶级数的性质,建立测量值与误差之间的函数关系,并基于多读数头布局原理,对自校准读数头布局...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(08):0812001

 激光测量标定机器人坐标系位姿变换的正交化解算

杨聚庆 王大勇 董登峰 程 智 劳达宝 周维虎

[摘要]针对大型装备智能制造中的机器人在线位姿激光跟踪测量与实时引导需求, 提出了一种机器人坐标系与激光测量坐标系标定转换和解算方法。设计了基于距离原则的机器人末端光学工具中心点TCP(Tool Center Point)位置标定算...

 PDF全文光学 精密工程 | 2018, 26(08):1985

 机械臂全工作空间域非参数约束位姿误差估算

杨聚庆 王大勇 董登峰 程 智 劳达宝 周维虎

[摘要]针对机械臂全工作空间域位姿误差估算,提出了非参数化约束的运动学误差综合解算与动态估算方法。基于误差等效微分变量和多关节运动的连杆坐标系误差等效微分变换,构建了机械臂运动学动态非参数化约束的位姿误差模型...

 PDF全文光学 精密工程 | 2018, 26(10):2430

 光电自准直经纬仪光学系统设计与公差分析

王国名 劳达宝 周维虎

[摘要]光电自准直经纬仪是一种集成了光电自准直仪和经纬仪双重功能的精密测量系统, 其光路由目视内调焦望远系统和光电自准直系统两部分组成。首先提出共光路光学系统的设计原理与方法, 优化设计成像清晰的内调焦望远系统和...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(10):102203

 飞秒激光跟踪仪跟踪脱靶量零位标定方法

崔成君 劳达宝 董登峰 高强 周维虎

[摘要]飞秒激光跟踪仪通过PSD探测脱靶量实现目标跟踪, 脱靶量零位是跟踪激光指向反射靶球的中心时反射激光在PSD上输出的光斑位置, 跟踪时以脱靶量零位作为基准计算目标脱靶量, 因此如何准确标定脱靶量零位是仪器实现精确测...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(01):0117001

 基于共线向量与平面单应性的双目相机标定方法

邹朋朋 张滋黎 王 平 汪启跃 周维虎

[摘要]现有双目相机标定的方法是通过矩阵变换求得各个相机间的旋转平移关系,再通过优化求得最终参数。非线性优化步骤多,相机内外参数与镜头畸变存在耦合,时间花费较大。提出一种畸变矫正与平面单应性矩阵结合的双目相机...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(11):1115006

 多读数头混合布局测角误差抑制方法

张文颖 劳达宝 周维虎 江 炜 朱浩然

[摘要]在不增大码盘尺寸的前提下, 对测角传感器读数头的布局展开研究, 以研制小型化高精度的测角传感器。本文基于测角误差的谐波分析结果, 详细推导和分析了多读数头布局对角度测量误差的抑制原理。通过对几种典型多读数头...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(09):2339

 基于位置敏感器件的高精度激光位置检测系统

程智 董登峰 周维虎 刘鑫

[摘要]光电非接触式测量方法对实现微位移测量具有重要意义,位置敏感器件(PSD)是实现光斑位置探测的传感器件,其探测精度以及基于该器件的数据处理方法直接影响位置测量精度。依据PSD各电极输出的光电流大小反比于入射光位...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2016, 53(08):081202

 激光跟踪仪目标脱靶量精密探测方法

董登峰 程智 周维虎 纪荣祎 刘鑫

[摘要]激光跟踪仪是一种用于大尺寸空间精密几何坐标测量的重要光学测量仪器。PSD是激光跟踪仪实现对合作目标精密跟踪的脱靶量传感器件, 其探测精度直接影响跟踪测量性能。首先, 简要介绍了激光跟踪测量系统及基工作原理, 然...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(06):0617002

 双向运转混合锁模掺铒光纤激光器

黎尧 纪荣 祎石 俊凯 张滋黎 董登峰 劳达宝 周维虎

[摘要]构建了基于混合锁模机制的双向运转掺铒光纤激光器。激光器采用σ型腔,腔内无隔离装置,以反射式半导体可饱和吸收镜和非线性偏振旋转效应为混合锁模机制,通过精细调节聚焦到半导体可饱和吸收镜上的激光光斑大小和腔...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(12):1201002

 激光跟踪仪精密跟踪系统的设计

董登峰 周维虎 纪荣祎 张滋黎 劳达宝

[摘要]对激光跟踪仪的跟踪伺服控制系统进行了整体研究并给出了总体设计方案。针对跟踪目标的精密探测问题, 研究了新型探测手段以及微弱光电信号的精细调理技术与数字滤波方法, 使得脱靶量探测稳定性优于±2.0 μm。针...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(02):309

 飞秒激光跟踪仪光轴与竖轴同轴度的标定

崔成君 劳达宝 高书苑 郝春艳 周维虎

[摘要]考虑飞秒激光跟踪仪仪器轴系的几何误差会影响仪器的指向精度并最终影响坐标测量精度, 本文研究了激光光轴与竖轴的几何误差对仪器测量精度的影响。提出了激光光轴与竖轴的同轴度标定方法, 以降低其不重合带来的跟踪测...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(11):2651

 基于遗传算法的柱面光栅测角技术研究

劳达宝 周维虎 李万红 石 冬 林心龙

[摘要]高精度角度测量装置是保证旋转设备精度和性能的关键,广泛应用于测量跟踪仪器中,特别是对于大尺寸坐标测量仪器,测角相比于测距是制约坐标测量精度的瓶颈。在精密一维轴系平台上,采用高精度柱面光栅及四个读数头构...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(07):2182

 准分子激光器温度控制系统设计

冯泽斌 周维虎 白路军

[摘要]设计了一种应用于准分子激光器的高精度温度控制系统,可对准分子 激光器放电腔的温度进行实时采集、 显示、控制,达到维持激光器腔体温度恒定的目的,从而改善激光器的工作性能如能量稳定性和使用寿命等。 系统采用飞思...

 PDF全文量子电子学报 | 2015, 32(04):431

 激光跟踪仪的光电瞄准与定位系统

刘娇月 杨聚庆 董登峰 周维虎

[摘要]考虑激光跟踪仪的光电瞄准与定位直接影响仪器的整体测量精度和使用性能, 讨论了激光跟踪仪的光电瞄准和跟踪定位控制技术并提出了光电探测瞄准、信号调理采集、数字处理及智能跟踪伺服的系统整体技术方案。对系统关键...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(06):1558

 激光跟踪仪转镜倾斜误差的标定及修正

张滋黎 朱涵 周维虎

[摘要]为了提高激光跟踪仪的测量精度, 分析了跟踪仪的几何结构误差, 重点研究了其转镜倾斜误差的标定和修正方法。利用矢量分析和坐标转换相结合的方法建立了跟踪仪转镜倾斜误差模型, 推导出了跟踪仪几何空间坐标修正公式, ...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(05):1205

 基于数字微镜阵列的协同目标跟踪系统设计

朱涵 张滋黎 唐亚军 郭喜庆 周维虎

[摘要]针对多镜头目标跟踪系统协同性差及单镜头系统目标跟踪观测过程中视场小、无法实现宽视场跟踪的现状,设计了能同时实现宽视场跟踪窄视场局部目标检测的协同跟踪系统。该系统基于数字微镜阵列高反射率、高性能视场分割...

 PDF全文应用光学 | 2014, 35(05):750

 四象限探测器用于激光跟踪仪目标脱靶量测量

周培松 卢荣胜 周维虎 董登峰 李万红 朱涵

[摘要]介绍了基于四象限探测器的激光跟踪仪目标脱靶量测量系统。根据四象限探测器的工作原理和跟踪激光的光斑特性,分析得出目标脱靶量与四象限探测器输出电流信号的关系为非线性。针对非线性关系不易快速解算的难题,文中...

 PDF全文光电技术应用 | 2014, 29(01):75-79

 激光跟踪仪测角误差补偿

卢荣胜 李万红 劳达宝 周维虎 丁功明

[摘要]由于激光跟踪仪的角度测量精度直接影响仪器的测量精度, 本文提出了用自准直仪结合多面棱体对跟踪仪金属圆光栅测角误差进行离散标定的方法。研究了基于谐波分析的误差补偿方法, 取金属柱面圆光栅测角误差中幅值较大且...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(09):2299

 补偿大气折射率的多波长干涉绝对距离测量

华卿 周维虎 纪荣祎

[摘要]在绝对距离测量中, 由于大气扰动造成的测量路径上折射率分布不均匀对干涉测量有很大的影响, 针对这一问题, 本文提出了一种补偿大气折射率的多波长干涉测量绝对距离的方法。该方法基于小数重合法的基本原理, 在测量过...

 PDF全文光电工程 | 2013, 40(04):38-44

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