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 基于强化学习的准分子激光器能量控制算法研究

孙泽旭 冯泽斌 周翊 刘广义 韩晓泉

[摘要]光刻用准分子激光器的能量特性在集成电路的光刻过程中至关重要,直接影响光刻机曝光线条的精度。为了实现对于衡量能量特性的能量稳定性和剂量精度的精确控制,从放电电压调节的角度对激光脉冲的能量特性控制进行了研究...

 PDF全文中国激光 | 2020, 47(09):0901002

 准分子激光器中放电冲击波的仿真研究

刘斌 丁金滨 周翊 江锐 王宇

[摘要]分析了准分子激光器放电腔内放电冲击波能量来源的计算方法,利用Fluent软件对放电冲击波物理过程进行了二维仿真,揭示了300 μs内横向冲击波和纵向冲击波的演化过程,获得了此过程中气体速度、密度、压力和温度等关键参...

 PDF全文中国激光 | 2020, 47(09):0901001

 氟化钙晶体深紫外激光辐照损伤特性研究进展

宗慧雯 赵江山 宋兴亮 郭馨 王倩 李慧 周翊

[摘要]半导体光刻技术带动着光源逐步向短波辐射方向发展,以KrF-248 nm、ArF-193 nm光源为代表的准分子激光光刻光源逐步取代了以往基于汞灯的光刻光源,成为当前半导体光刻技术发展的主流光源。目前应用于光刻光源的光学元件...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(19):190002

 高重复频率准分子激光器中放电冲击波特性的实验研究

刘斌 丁金滨 王魁波 周翊 江锐 王宇

[摘要]采用阴影法对高重复频率准分子激光器放电腔内的放电冲击波现象进行了实验研究,研究结果揭示了放电冲击波的产生以及演化过程。通过对观测结果进行分析,获得了放电冲击波的3种典型形式:横向冲击波、纵向冲击波(主电极冲...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(12):1201001

 用于光谱控制的棱镜扩束装置精密装调特性分析

王倩 赵江山 周翊

[摘要]线宽压窄模块是光刻用准分子激光器的重要组成部分。线宽压窄模块中棱镜组及光栅的装配角度直接影响系统输出特性。为了进一步改进准分子激光器线宽压窄模块工程化安装与调试工艺,研究了棱镜扩束器中棱镜角度偏差对系...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(04):0401012

 高效率ArF 准分子激光复合腔技术研究

范元媛 周翊 刘广义 宋兴亮 单耀莹 王倩 赵江山

[摘要]短波长、高光子能量的ArF 准分子激光在集成电路光刻、材料加工、激光医学等领域具有重要的应用。结合线宽压窄技术方案设计了193 nm ArF 准分子激光器复合腔结构,理论分析了复合腔结构能量提升的原理。针对准分子激光...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(02):0202001

 高能窄带激光系统中光谱纯度检测的实验研究

吴月婷 范元媛 刘广义 周翊

[摘要]针对高能窄带激光系统对光谱纯度检测的需求,提出通过精确测量激光光谱能量分布情况分析光谱纯度的方法,并进行了相关实验研究。该光谱纯度检测装置主要由中阶梯光栅、精密移动刀口、灵敏功率计等组成,实验利用该装...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(07):073002

 相干长度连续可调的高稳定性固体激光器

翟晔 范元媛 王倩 周翊

[摘要]提出了一种基于光谱色散原理调节激光相干长度的固体激光器。采用传统色散元件(光栅和多块三角棱镜)组成相干长度调节模块,通过将其置于激光谐振腔内代替一面腔镜,利用棱镜的扩束特性和光栅的色散特性实现对激光相...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(09):0902012

 熔融石英棱镜在准分子激光光谱控制系统中的应用研究

单耀莹 赵江山 李慧 王倩 沙鹏飞 周翊 周军 袁志军 张海波 楼祺洪

[摘要]针对准分子激光器的相关应用,对准分子激光进行光谱控制是非常必要的。相关光谱控制主要包括激光线宽窄化及激光中心波长的稳定输出,常用的线宽压窄方式是利用扩束棱镜组结合光栅构成线宽压窄模块达到激光线宽窄化的...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(04):0402008

 自成像共焦腔一维光纤激光阵列相干合成的实验研究

徐子超 宋兴亮 周翊

[摘要]利用自成像共焦腔,开展了一维光纤激光阵列相干合成的实验研究, 实现了掺Yb双包层光纤激光阵列的相位锁定, 得到了基于一维光纤激光阵列自成像共焦腔的远场强度分布图样。根据其数学模型及理论计算,合理选择了空间滤波...

 PDF全文量子电子学报 | 2011, 28(03):293-297

 近期光刻用ArF准分子激光技术发展

游利兵 周翊 梁勖 余吟山 方晓东 王宇

[摘要]193 nm ArF 准分子激光光刻技术已广泛应用于90 nm以下节点半导体量产。 分析了近期发展用于改进准分子激光性能的 关键技术:主振-功率再生放大 (MOPRA) 结构, 主振-功率振荡 (MOPO) 结构, 主动光谱带宽稳定技术, 先进...

 PDF全文量子电子学报 | 2010, 27(05):522-527

 自成像共焦腔相干合成空间滤波器设计

金若男 徐子超 宋兴亮 周翊 LIU L P CHEN Y C

[摘要]理论分析了利用自成像共焦腔实现激光列阵相干合成的物理模型,对自成像共焦腔的一维相干合成和二维相干合成进行了模拟仿真计算,得到腔内场的强度分布图样.在此基础上,研究了空间滤波器在相干合成中实现模式选择的机...

 PDF全文光子学报 | 2009, 38(12):3154-3159

 周期极化钽酸锂晶体腔内倍频实验研究

林嵩 赵江山 周翊

[摘要]报道了基于准相位匹配(QPM)应用的周期性极化钽酸锂(PPSLT)晶体进行腔内倍频非线性光学变换实验研究。分析比对了不同长度(3.5 mm,5 mm,10 mm)晶体倍频过程。利用3.5 mm PPSLT晶体在2500 mW 808 nm激光抽运下产生1445 ...

 PDF全文中国激光 | 2009, 36(11):2808-2811

 腔内倍频绿光VECSEL

宋宴蓉 张鹏 张新平 颜博霞 周翊 毕勇 张志刚

[摘要]报道垂直外腔面发射激光器(VECSEL)腔内倍频的绿光输出,其基频光腔由增益片的分布布拉格反射镜(DBR)和外腔镜构成。用LBO作为非线性晶体,当基频光为44 mW的1080 nm光时,得到了12 mW的540 nm倍频光输出,倍频效率约3...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2008, 6(04):271

 光抽运垂直外腔面发射半导体倍频绿光激光器

宋晏蓉 张鹏 颜博霞 周翊 毕勇 张志刚

[摘要]

 PDF全文中国激光 | 2007, 34(12):1736

 光参量振荡器的复合腔调频

吴穷 许祖彦 张东香 周翊

[摘要]将复合腔调频技术应用于光参量振荡器。采用Nd:YAG激光之三次谐波同步泵浦BBO晶体,与传统的单独掠射光栅调频腔(Littman结构)相比,在线宽相同前提下,降低了振荡阈值,提高了输出功率。同时给出了复合腔调频的物理机制。...

 PDF全文中国激光 | 1997, 24(02):138-142

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