首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '唐燕', 共找到 19个内容。

   将选定结果: 

 基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量

邓钦元 唐燕 周毅 杨勇 胡松

[摘要]提出了一种基于空间频域分析的白光干涉测量算法,该算法通过消除相位信息中的2π模糊来实现高精度的表面形貌测量。在频域分析中可以同时提取样品的相干形貌和相位形貌。相干形貌虽然不受2π模糊的影响,但是包含测量...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(06):0604001

 一种可见光隐式成像通信帧同步补偿算法

李明超 胡赟鹏 姚祥文 唐燕群 沈智翔

[摘要]为解决可见光隐式成像通信中收发两端不同步的问题, 分析了显示屏与相机链路间的特性, 将收发端不同步问题总结为丢帧和混合帧问题。针对丢帧和混合帧问题, 建立了合理的接收帧数学模型。从该模型出发, 分析差异帧绝对...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(01):0106002

 扫描积分塔尔博特光刻条纹质量影响因素模拟分析

邓茜 赵立新 唐燕 姚靖威 刘俊伯 胡松

[摘要]基于角谱衍射理论, 对扫描积分塔尔博特光刻术进行了理论分析与数值模拟。研究了扫描距离、扫描起始位置、扫描速度非匀速以及照明光源不同特性对扫描积分塔尔博特光刻所得光栅条纹质量的影响。模拟结果表明, 当扫描距...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(12):1205001

 基于复合光栅的大范围高精度对准方法

司新春 唐燕 胡松 刘俊伯 程依光 胡淘 周毅 邓钦元

[摘要]提出一种基于复合光栅的对准方法,满足接近式光刻高精度、大范围对准需要。该复合光栅由周期具有微小差异的小周期光栅以及与之相正交的大周期小范围光栅组成。对准过程中,通过对叠栅条纹进行高精度相位解析,实现精...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(01):0105003

 基于二维Ronchi光栅的纳米光刻对准技术研究

司新春 佟军民 唐燕 胡松 刘俊伯 李金龙 周毅 邓钦元

[摘要]提出了一种基于二维光栅叠栅效应的纳米光刻对准方法,用于接近式光刻实现二维同步对准。该方法采用两组周期接近的二维光栅重叠产生一组周期分布的叠栅条纹,条纹的周期相对于两光栅周期被大幅度放大,将光栅间的位移...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(09):0910001

 光刻对准中掩模光栅标记成像标定方法

朱江平 胡松 于军胜 唐燕 周绍林 何渝

[摘要]双光栅叠栅条纹对准方法具有精度高、可靠性强等特点,适用于接近接触式光刻。为了实现高精度测量,实际应用中要求掩模光栅标记与硅片光栅标记高度平行。掩模光栅标记在CCD中成像通常存在一定的倾斜角。由此,在已提出...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(01):0108002

 光子筛成像技术研究进展

何渝 赵立新 唐燕 陈铭勇 朱江平

[摘要]光子筛是一种新型的纳米成像元件,具有高分辨、质量轻、体积小及易复制的优点,对于成像系统轻量化以及极短波谱区成像具有重要意义。根据解决的具体问题对国内外光子筛研究成果进行分类,从成像对比度的增加、衍射效...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2012, 49(09):090007

 基于等效叠栅的反射式光刻对准模型研究

朱江平 胡松 于军胜 唐燕 周绍林 刘旗 何渝

[摘要]针对接近接触式光刻技术的特点,提出了一种实用的反射式光刻对准方案。方案采用差动叠栅条纹对准技术,以叠栅条纹相位作为对准信号的载体。在掩模和硅片上分别设计两组位置相反、周期接近的光栅对准标记。电荷耦合器...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(09):0909001

 一种数字光栅无掩模光刻对准方法

唐路路 胡松 徐峰 唐燕 陈铭勇 朱江平

[摘要]针对数字微反射镜装置(DMD)无掩模光刻系统,提出并研究了一种数字光栅无掩模光刻对准方法,将硅片的微位移放大显示在数字光栅与硅片物理光栅叠加产生的叠栅条纹中。建立了基于DMD的数字光栅无掩模光刻对准模型,设计...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(03):0316002

 光子筛透镜组合的折衍混合消色差系统设计

何渝 赵立新 唐燕 陈铭勇 朱江平

[摘要]光子筛作为一种衍射光学元件,具有较大的色散,不适用于宽光谱成像。光子筛的焦距随着入射波长的增大而减小,而正的折射透镜焦距随着入射波长的增大而增大。应用了折衍混合方法进行光子筛消色差的设计。该设计利用二...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(12):1216001

 基于叠栅条纹的光刻对准理论分析及标定方法

朱江平 胡松 于军胜 唐燕 周绍林

[摘要]在线光栅用于纳米光刻对准理论的基础上,为实现光栅方向的标定和掩模硅片对准,提出一种利用相位斜率消除角位移的新方法,并给出线光栅标记及其对准原理。在对准前,掩模对准标记和硅片对准标记存在角位移,重点讨论...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(06):0607001

 大数值孔径光子筛偏振特性研究

唐燕 胡松 赵立新 朱江平 何渝

[摘要]根据角谱理论建立不同偏振照明条件下的光子筛矢量衍射模型。在此基础上,对入射光分别为线偏振光、径向偏振光、切向偏振光三种特殊偏振状态下的光子筛聚焦光强分布进行了模拟分析。研究结果表明,对于大数值孔径光子...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(12):1205002

 准相位型光子筛设计

唐燕 胡松 朱江平 何渝

[摘要]提出了一种准相位型光子筛。该准相位型光子筛通过改变暗环上小孔直径与带宽的比值,对焦点处的相位分布进行调制,使通过亮环和暗环上小孔的光波在焦点处发生相长干涉,生成聚焦光斑。该准相位型光子筛无需对基底进行...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(10):1022007

 基于条纹反射的非球面镜三维面形测量

唐燕 苏显渝 刘元坤 荆海龙

[摘要]提出一种利用条纹反射原理测量非球面镜的新方法。测量过程中, 利用液晶屏显示正弦条纹, 由摄像机记录由待测镜面反射产生的条纹图。并将显示屏和摄像机分别沿待测镜面轴向移动。摄像机在每个移动位置上, 记录下显示屏...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(04):965-969

 广角镜头桶形畸变的样条函数修正方法

王占斌 赵辉 陶卫 唐燕

[摘要]为了修正广角镜头的桶形畸变,本文提出了一种基于样条函数的修正方法。依据镜头桶形畸变产生的物理机制,本文首先制作了一个同心圆标定模板并用该模板对广角镜头进行标定。然后利用样条函数的光滑性和桶形畸变的径向连...

 PDF全文光电工程 | 2008, 35(04):140-144

 小波脊指导离散小波分层的讨论

张强 陈文静 唐燕

[摘要]采用小波分层方法,可以消除畸变条纹中零频对基频的影响.本文从连续小波入手,求解出二维连续小波变换的小波脊尺度因子α的公式,结合离散小波的性质,将这些α作离散化,得到其离散值2k,用数学统计的方法将离散值分组,选...

 PDF全文光电工程 | 2007, 34(09):78-83

 神经网络获取三维面形研究

唐燕 陈文静 张强 苏显渝 向立群

[摘要]针对基于传统三角原理的结构光三维测量方法难以测量阶梯形物体的问题,应用神经网络对获取的变形条纹进行处理,获取物体的三维面形信息.该方法通过对神经网络的训练,直接建立条纹图分布与物体高度之间的对应关系,完成对...

 PDF全文光电工程 | 2007, 34(12):61-65

 应用神经网络的复杂物体三维测量

唐燕 陈文静

[摘要]将神经网络引入基于结构光投影的复杂物体三维面形测量。在测量过程中,利用神经网络强大的函数逼近能力,得到离散条纹图的连续逼近函数,从中解出物体的相位分布信息,获得物体的三维面形分布。应用神经网络方法,在结构光...

 PDF全文光学学报 | 2007, 27(08):1435-1439

 窄脉宽声光调Q激光器的最佳条件

竺佩芳 唐燕

[摘要]

 PDF全文中国激光 | 1986, 13(09):601

首页上一页1下一页尾页