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   将选定结果: 

 电子束退火法制备Li-N共掺杂多晶ZnO薄膜

李艳丽 李 辉 孔祥东 韩 立 李晓娜

[摘要]为研究电子束退火对Li-N共掺杂ZnO薄膜性能的影响,首先利用溶胶-凝胶旋涂法在p型Si(111)衬底上制备Li-N共掺杂的ZnO前驱膜,然后用电子束对前驱膜进行退火。退火时,电子束加速电压10 kV,退火时间5 min,聚焦束流123...

 PDF全文发光学报 | 2018, 39(03):293

 用反差确定电子束曝光剂量与刻蚀深度的关系

卢文娟 张玉林 孔祥东 郝慧娟

[摘要]为了精确地确定电子束曝光剂量与刻蚀深度间的关系,根据抗蚀剂的灵敏度曲线,采用反差经验公式来确定剂量与刻蚀深度间的关系.选用正性抗蚀剂PMMA进行曝光实验,将计算值进行曲线拟合,得到的关系曲线与实验结果基本相符....

 PDF全文强激光与粒子束 | 2007, 19(08):1377-1380

 电子束重复增量扫描曝光技术

孔祥东 冯圣玉 卢文娟 张玉林

[摘要]提出了电子束重复增量扫描曝光技术新概念,对吸收能量密度与深度和曝光剂量之间的关系、溶解速度与吸收能量密度之间的关系进行了理论分析,发现溶解速度随曝光剂量增加而增大.以此为依据,在SDS-3型电子束曝光机上采用2...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2007, 19(03):503-506

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