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   将选定结果: 

 基于地面激光强度校正数据的单木枝叶分离

孙圆 林秀云 熊金鑫 任国婧

[摘要]由于受到角度、距离等因素影响,同种地物反射的激光强度数据存在较大的偏差,需要建立校正模型使强度数据能准确反映地物信息,并快速提取。从激光雷达测距方程出发,设计校正实验,运用多项式模型拟合强度数据校正方程,通...

 PDF全文中国激光 | 2021, 48(01):0104001

 超大数值孔径极紫外光刻物镜的公差分析

孙圆圆 李艳秋 曹振

[摘要]超大数值孔径极紫外光刻物镜(NA>0.45)能够满足11 nm 光刻技术节点的需求,而高分辨率成像对物镜系统的公差要求非常严格。针对一套数值孔径为0.50 的极紫外投影物镜进行了补偿器选择和制造公差分析。通过对系统敏感...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(12):122207

 极紫外光刻物镜补偿器的选择及定位精度分析

曹振 李艳秋 孙圆圆

[摘要]极紫外(EUV)光刻物镜设计不仅要在系统优化阶段尽可能减小残余像差,还必须选择像质补偿器合理分配各项公差,从而在保证系统可制造性的前提下实现预期性能。针对一套数值孔径0.33 的极紫外光刻物镜,进行了补偿器的优...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(12):1211003

 一种印刷机滚筒表面位置偏差的高精度光电测量系统

杨宇峰 陈长缨 孙圆圆 肖勇盛

[摘要]为了提高印刷机的印刷品质,构建了一个测量高速旋转物体表面位置偏差的高精度系统。介绍了该系统的设计原理、结构,各个模块的功能以及软件设计的思路,重点讨论了条形码设计的思路以及利用锁相法测量旋转物体表面位...

 PDF全文应用光学 | 2010, 31(02):185-189

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