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 基于强化学习的准分子激光器能量控制算法研究

孙泽旭 冯泽斌 周翊 刘广义 韩晓泉

[摘要]光刻用准分子激光器的能量特性在集成电路的光刻过程中至关重要,直接影响光刻机曝光线条的精度。为了实现对于衡量能量特性的能量稳定性和剂量精度的精确控制,从放电电压调节的角度对激光脉冲的能量特性控制进行了研究...

 PDF全文中国激光 | 2020, 47(09):0901002

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