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 硅掺杂氧化锡柔性薄膜晶体管的制备与特性

张建东 刘贤哲 张啸尘 李晓庆 王磊 姚日晖 宁洪龙 彭俊彪

[摘要]研究了柔性非晶硅掺杂氧化锡(SiSnO,STO)薄膜晶体管的电学特性及其在弯曲状态下的电学特性。通过射频磁控溅射在聚酰亚胺(Polyimide,PI)衬底上制备出了柔性非晶硅掺杂氧化锡薄膜晶体管。通过对比不同退火温度的器件性能...

 PDF全文发光学报 | 2018, 39(07):968

 旋涂法制备氧化锆介质层及其在薄膜晶体管中的应用

钟云肖 周尚雄 姚日晖 蔡炜 朱镇南 魏靖林 徐海涛 宁洪龙 彭俊彪

[摘要]采用旋涂法制备了氧化锆介质层薄膜, 重点讨论了退火温度以及旋涂转速对薄膜性能的影响及作用机制。研究发现高温后退火一方面使得氧化锆水合物脱水形成氧化锆, 另一方面促使氧化锆薄膜结晶。此外, 转速较高时, 其变化...

 PDF全文发光学报 | 2018, 39(02):214

 溶液法制备氧化锡薄膜及光学特性研究

王佳良 刘贤哲 邓宇熹 袁炜键 周尚雄 张啸尘 姚日晖 宁洪龙 彭俊彪

[摘要]采用五水合氯化锡配制前驱体溶液,通过旋涂法在玻璃基底上制备了一种可见光平均透射率在90%以上的氧化锡透明薄膜。研究发现,对玻璃基底进行等离子预处理有助于改善氧化锡薄膜的表面质量。当等离子处理功率为25 W时,...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(10):1031001

 全固态WO3薄膜电致变色器件研究进展

张巡天 张啸尘 姚日晖 宁洪龙 徐海涛

[摘要]讨论了基本的EC器件结构设计、被广泛应用的阴极氧化物材料(WO3)的结构以及改善其性能的一些方法和新型固体电解质材料。最后, 对EC器件的未来发展做了展望。

 PDF全文光电子技术 | 2018, 38(01):49

 压电波形对喷墨打印电极的调控规律

宁洪龙 朱镇南 陶瑞强 陈建秋 周艺聪 蔡 炜 胡诗犇 姚日晖 徐 苗 王 磊 兰林锋 彭俊彪

[摘要]压电喷墨打印是制备印刷电子器件的主要手段之一, 其墨滴喷射状态直接受压电波形的影响, 因而压电波形对于器件打印具有重要意义。本文主要研究了压电波形对薄膜晶体管(TFT)电极打印效果的影响, 实验通过改变压电波形的...

 PDF全文发光学报 | 2017, 38(05):617

 基于柔性显示器件的氧化铝介电层室温制备

姚日晖 郑泽科 曾勇 胡诗犇 刘贤哲 陶瑞强 陈建秋 蔡炜 宁洪龙 徐苗 王磊 兰林锋 彭俊彪

[摘要]在室温环境下采用射频磁控溅射方法制备了氧化铝(Al2O3)薄膜, 通过调节溅射气压实现了对薄膜特性的优化控制。当溅射功率为120 W、Ar气压强为0.13 Pa时, 制备的Al2O3薄膜具有最好的厚度均匀性, 薄膜中Al和O的原子比为1...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(03):0331001

 室温生长AZO/Al2O3叠层薄膜晶体管性能研究

宁洪龙 曾 勇 姚日晖 刘贤哲 陶瑞强 郑泽科 方志强 胡诗犇 陈建秋 蔡 炜 徐 苗 兰林锋 王 磊 彭俊彪 李正操

[摘要]针对目前大多数氧化物薄膜晶体管都需要采用热退火工艺来提高其性能不利于其在柔性显示器件中应用这一问题, 提出了一种采用室温工艺制备的新型TFT器件, 无需退火处理即可获得较好的器件性能。该器件采用脉冲激光沉积技...

 PDF全文发光学报 | 2016, 37(11):1372

 使用铜源漏电极的非晶氧化铟锌薄膜晶体管的研究

徐瑞霞 陈子楷 赵铭杰 宁洪龙 邹建华 陶洪 王磊 徐苗 彭俊彪

[摘要]为了实现氧化物薄膜晶体管(TFT)的低电阻布线,采用Cu作为氧化物TFT的源漏电极。通过优化成膜工艺制备了电阻率低至2.0 μΩ·cm的Cu膜,分析了Cu膜的晶体结构、粘附性及其与a-IZO薄膜的界面,制备了以a-IZO为有源层和...

 PDF全文发光学报 | 2015, 36(08):935

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