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 氟化钙晶体深紫外激光辐照损伤特性研究进展

宗慧雯 赵江山 宋兴亮 郭馨 王倩 李慧 周翊

[摘要]半导体光刻技术带动着光源逐步向短波辐射方向发展,以KrF-248 nm、ArF-193 nm光源为代表的准分子激光光刻光源逐步取代了以往基于汞灯的光刻光源,成为当前半导体光刻技术发展的主流光源。目前应用于光刻光源的光学元件...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(19):190002

 高效率ArF 准分子激光复合腔技术研究

范元媛 周翊 刘广义 宋兴亮 单耀莹 王倩 赵江山

[摘要]短波长、高光子能量的ArF 准分子激光在集成电路光刻、材料加工、激光医学等领域具有重要的应用。结合线宽压窄技术方案设计了193 nm ArF 准分子激光器复合腔结构,理论分析了复合腔结构能量提升的原理。针对准分子激光...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(02):0202001

 自成像共焦腔一维光纤激光阵列相干合成的实验研究

徐子超 宋兴亮 周翊

[摘要]利用自成像共焦腔,开展了一维光纤激光阵列相干合成的实验研究, 实现了掺Yb双包层光纤激光阵列的相位锁定, 得到了基于一维光纤激光阵列自成像共焦腔的远场强度分布图样。根据其数学模型及理论计算,合理选择了空间滤波...

 PDF全文量子电子学报 | 2011, 28(03):293-297

 自成像共焦腔相干合成空间滤波器设计

金若男 徐子超 宋兴亮 周翊 LIU L P CHEN Y C

[摘要]理论分析了利用自成像共焦腔实现激光列阵相干合成的物理模型,对自成像共焦腔的一维相干合成和二维相干合成进行了模拟仿真计算,得到腔内场的强度分布图样.在此基础上,研究了空间滤波器在相干合成中实现模式选择的机...

 PDF全文光子学报 | 2009, 38(12):3154-3159

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