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 飞秒激光成丝制备毫米级深孔

张艳杰 宋海英 刘海云 刘勋 李维 刘世炳

[摘要]利用飞秒激光成丝效应对2 mm厚的聚甲基丙烯酸甲酯材料在空气环境下进行打孔实验, 总结光丝长度随飞秒激光平均功率的变化, 利用扫描电子显微镜初步分析深微孔的表面形貌并测量孔径的大小, 然后分析孔径、深宽比以及锥...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(04):0402012

 飞秒激光溅射沉积法制备碳薄膜

董祥明 刘世炳 宋海英

[摘要]在气压为1.33×10-4 Pa 和衬底温度为室温条件下,利用飞秒激光剥落石墨的方法在无催化层的硅(Si)衬底上加工碳纳米薄膜;探究了激光能量和沉积时间对碳纳米薄膜成膜情况的影响。通过拉曼光谱对碳纳米薄膜表面物质...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(08):0807002

 飞秒激光制备黑硅的光谱特性

孟娇 宋海英 刘嵩 董祥明 刘世炳

[摘要]本文采用飞秒激光在空气中对单晶硅进行扫描处理, 在硅表面制备出平行排列并具有微尺度沟槽的黑硅材料。在扫描电子显微镜下, 观察到了黑硅的纳米尺度的二级结构。通过黑硅的反射光谱发现, 在250~1000 nm光谱区域的反射...

 PDF全文光散射学报 | 2014, 26(02):154-158

 355nm激光曝光SU-8胶的XPS谱和FT-IR谱研究

宋海英 刘世炳

[摘要]SU-8光胶因具有良好的光刻性能,并可获得稳定的高深宽比而在微加工领域得到了广泛的应用.众多研究采用不同的光源对其进行了多种光刻研究,本文应用355nm激光对SU-8胶进行曝光,分别采用XPS谱和FT-IR谱分析了SU-8胶与激光...

 PDF全文光散射学报 | 2007, 19(04):363-368

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