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   将选定结果: 

 PECVD制备非晶硅薄膜的均匀性控制方法研究

陈德军 刘爽 刘永 何存玉 尹潘薇

[摘要]针对用于制备非晶硅薄膜的PECVD设备反应室的流体场进行了模拟仿真,并实验制备了相对应条件下的非晶硅薄膜,利用台阶仪完成了对薄膜厚度的测量,对比仿真结果,发现薄膜的厚度分布情况与基片表面附近的气流分布情况密...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(06):951

 非晶硅薄膜光谱响应研究

曲鹏程 刘爽 陈逢彬 张尚剑 陈德军 刘永 何存玉 尹潘薇

[摘要]利用Matlab软件计算了基于本征吸收的非晶硅薄膜的光谱响应,仿真出由多个不同带隙的薄膜组成的非晶硅薄膜的光谱响应,仿真了薄膜厚度、光学禁带宽度参数对非晶硅薄膜光谱响应的影响,设计出一种渐变带隙的非晶硅薄膜...

 PDF全文半导体光电 | 2013, 34(06):1002-1004

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