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 多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计

赵可为 谭艾英 尹韶云 蔡文涛 杨若夫 陈建军 佟首峰

[摘要]提出了一种光刻机照度均匀度多点测量方法, 该方法利用紫外增强PIN光电二极管, 同时快速测量曝光机照面多点的光强, 通过在传统电流-电压放大电路的基础上进行改进, 同时使用复合放大的方法, 大大提高了曝光机照度均匀...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(06):061203

 大面积高均匀度平行光曝光机用自由曲面复眼透镜设计

陈忠雨 尹韶云 孙秀辉 江海波 杜春雷

[摘要]大面积平行光曝光机是印刷线路板(PCB)、显示面板和触摸屏等电子产品重要的制造设备, 由于采用复眼结合反射镜的非轴对称科勒照明光路, 其曝光均匀度只有0.85左右, 难以满足高精度加工制造的需求。针对此问题, 提出了采...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(04):042201

 紫外LED阵列匀光照明中失效安全设计

蔡文涛 尹韶云 向阳 孙秀辉 杜春雷 杨若夫

[摘要]为了弱化或消除LED失效对均匀性的影响, 提出了一种基于复眼透镜的匀化光斑整体累加方案.该方案先对单颗LED进行匀化设计, 再通过LED位置误差研究推广至LED阵列, 实现每颗LED在曝光面上均能产生相同大小的匀化光斑.然后...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(04):0422002

 大口径薄膜衍射主镜面形误差仿真分析

李韬杰 吴鹏 杨正 尹韶云 杜春雷 汪岳峰

[摘要]以理想坐标面为参考面, 建立了大口径薄膜衍射主镜面形误差与波前误差的关系模型.首先建立了子镜面形误差模型; 其次根据导出的子镜波前误差与大口径薄膜衍射主镜波前误差关系式, 分别讨论了边缘褶皱面形和球面面形两种...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(02):0205002

 衍射主镜面外拼接误差分析

李韬杰 吴鹏 尹韶云 杨正 杜春雷 汪岳峰

[摘要]多子镜拼接的方法可实现大口径菲涅耳衍射透镜制作, 但拼接误差会对光学系统的成像质量造成影响。通过衍射光线追迹和波前恢复的方法, 正向得到了子镜沿自身x′轴倾斜、y′轴倾斜、z′轴平移等面外误差与对应波前误差Z...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(02):0211002

 衍射拼接主镜厚度误差分析及分辨率增强实验

李韬杰 汪岳峰 杨正 韩珺 陈建军 李晶 尹韶云 吴鹏

[摘要]基于傅里叶光学的基本原理和稀疏孔径光瞳结构,建立了子镜与衍射拼接主镜厚度误差间的关系模型。在子镜无衍射结构一侧微变形情况下,给出了任意低阶面形误差引入的相位差的一般表达式。以球面变形为例,分析计算了面...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(10):1005001

 宽光谱干涉显微术快速提取内指纹

王金玉 雷 鸣 尹韶云 李 刚 汪岳峰

[摘要]指纹识别是一种广泛应用的生物特征识别技术, 但现有指纹身份识别装置由于容易被指纹膜欺骗而存在安全问题, 手指表面弄脏、 太湿或者磨损也会导致识别失效, 存在鲁棒性差的问题。 手指内部220~550 μm的皮肤层, 具有...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2018, 38(01):26

 基于瑞利-索末菲衍射理论的近场大衍射角衍射光学元件的设计

李晶 吴鹏 杨正 郑倩颖 李韬杰 向阳 杜春雷 尹韶云

[摘要]提出了一种基于瑞利-索末菲衍射理论的设计方法, 用于近场大衍射角衍射光学元件的设计.研究在大衍射角条件下, 衍射光学元件面和输出面采样点之间应满足的空间位置关系.采用无远场和傍轴近似的正、逆向衍射计算方法对传...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(11):1122003

 基于光源近场模型的LED光学扩展量测量方法

桂立 尹韶云 蔡文涛 孙秀辉 杜春雷 丁学专

[摘要]基于精确的LED光源近场模型, 提出了一种LED光学扩展量测量方法.通过追迹LED近场光源模型中的光线数据, 可获得LED光功率关于光学扩展量的关系曲线, 直观反映出LED光源的光学扩展量特性和光能利用率等信息.以紫外曝光系...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(01):0112004

 薄膜衍射主镜基底面形误差的像差特性分析

李韬杰 吴 鹏 杨 正 尹韶云 杜春雷 汪岳峰

[摘要]基于衍射光线追迹和波前再现的方法, 建立了薄膜衍射主镜基底面形误差所引起波前误差的物理仿真模型。并以边缘褶皱面形和中心向外凸出球面面形两种典型的薄膜基底形变类型为例, 分别研究了两种面形误差对衍射主镜成像...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(10):1011003

 基于双复眼透镜的三基色激光合成均匀白光束

帅词凤 尹韶云 刘显明 孙秀辉 陈伟民 杜春雷

[摘要]为获得高亮度均匀白光束,基于复眼透镜光束匀化原理,设计了一套以三基色半导体激光器为光源的双复眼透镜光束匀化合成光学系统。该系统包含两套复眼透镜模组,第一套模组将分立三基色激光束聚焦合成均匀白光斑,第二...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(03):0314002

 高填充因子半导体激光器慢轴光束准直技术研究

汪岳峰 雷呈强 殷智勇 尹韶云 孙秀辉

[摘要]为了实现基于微透镜阵列的高功率半导体激光器堆栈光束整形,对带有快轴准直透镜的高填充因子半导体激光器堆栈慢轴光束准直技术进行了研究。对于发光单元尺寸100 μm、周期200 μm的半导体激光器,分析了填充因子对慢...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(06):061402

 基于移动掩模曝光的聚酰亚胺连续微结构刻蚀工艺研究

谢玉萍 吴鹏 杨正 尹韶云 杜春雷 董连和

[摘要]为实现在聚酰亚胺薄膜上制备连续面形的微透镜结构, 开发了一种薄膜光刻刻蚀的工艺方法.首先利用移动掩模曝光得到连续面形的光刻胶微浮雕结构, 再通过反应离子刻蚀技术将微结构高保真度、低粗糙度地转移到PI薄膜上.为...

 PDF全文光子学报 | 2015, 44(09):0922004

 介质微球超分辨成像薄膜

庞辉 杜春雷 邱琪 邓启凌 张满 尹韶云

[摘要]针对现有基于微球的超分辨成像系统中液体浸没方式的不稳定性和繁琐性, 提出采用介质层来替代液体层, 制成含有单层密排微球的薄膜.研究折射率较低的二氧化硅微球和折射率较高的钛酸钡微球浸没在三种不同液体中时的成像...

 PDF全文光子学报 | 2015, 44(04):0426004

 基于微透镜阵列的半导体激光器堆栈匀化系统

雷呈强 汪岳峰 殷智勇 尹韶云 孙秀辉

[摘要]半导体激光器由于自身波导结构的不对称性导致光强分布不均匀而限制了其应用,为了对半导体激光光束进行整形以获得均匀光斑,设计了一种基于微透镜阵列的半导体激光器堆栈匀化系统。分析了微透镜阵列对半导体激光的匀...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(05):0502009

 高均匀性半导体激光器堆栈匀化系统

雷呈强 汪岳峰 殷智勇 尹韶云 孙秀辉 周全

[摘要]半导体激光器由于自身波导结构的不对称性导致光强分布不均匀而限制了其在工业加工上的应用,为了对半导体激光光束进行整形以获得均匀光斑,设计了一种基于微透镜阵列的半导体激光器堆栈匀化系统。分析了微透镜阵列对...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(s1):s114005

 自由曲面匀光透镜的建模误差分析及补偿设计

桂立 孙秀辉 尹韶云 杜春雷 向阳

[摘要]自由曲面匀光透镜被广泛应用于发光二极管(LED)照明中。传统的基于几何近似的自由曲面求解方法,由于存在建模误差,导致求解的面型不够精确,照明面均匀性下降。提出了一种误差分析及补偿方法,通过建立面型误差和出射...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(10):1022008

 微透镜阵列误差对半导体激光匀化性能的影响

雷呈强 汪岳峰 殷智勇 尹韶云 孙秀辉 杜春雷

[摘要]为了减小微透镜阵列误差对匀化光斑的影响,深入研究微透镜阵列光束匀化系统中微透镜阵列相对位置误差对光束匀化性能的影响,设计了一种微透镜阵列光束匀化系统。依据相对位置误差类型的不同,将双列微透镜阵列间六个...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(09):091002

 半导体激光器堆栈填充因子对慢轴光束准直的影响

汪岳峰 雷呈强 殷智勇 尹韶云 孙秀辉 王军阵

[摘要]为实现基于微透镜阵列的高功率半导体激光器堆栈光束整形, 对带有快轴准直透镜的高功率半导体激光器堆栈慢轴光束准直技术进行研究。在慢轴光束准直理论分析基础上, 着重研究了慢轴填充因子对其光束准直的影响, 并对不...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(05):051010

 LD快轴准直柱透镜多参数加工公差分析理论

罗超 尹韶云 夏良平 张为国 雷呈强 孙秀辉 杜春雷 罗春华

[摘要]为了实现半导体激光器快轴准直柱透镜加工公差的快速、准确制定,在快轴光束准直理论分析的基础上,采用几何光学的方法建立了多参数加工公差理论模型。该模型以各个结构参数的极限偏差值作为公差初始值,以实际的加工...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(11):111003

 基于双层微透镜阵列的移动视差式立体显示屏

苟健 尹韶云 邓启凌 高洪涛 孙秀辉 余金清 杜春雷

[摘要]受限于微透镜的数值孔径和像差问题,目前移动视差式立体显示屏存在多视场空间、视场区之间存在视场跳变、主视场空间角度小、显示效果模糊等问题.本文基于离散采样思想,分析了移动视差型三维显示系统的工作机理,结合...

 PDF全文光子学报 | 2014, 43(04):0422003

 高均匀长工作深度激光整形系统设计

余金清 尹韶云 殷智勇 董小春 孙秀辉 苟健 杜春雷

[摘要]高功率固体激光器对入射的泵浦光具有严格的均匀性和工作深度要求。本文通过将微透镜阵列与长焦深菲涅尔透镜结合, 对半导体激光器阵列光束进行整形, 获得在长工作深度范围内的均匀光斑。本文针对 dilas E15Y-808.3-12...

 PDF全文光电工程 | 2014, 41(08):80-84

 人工复眼成像三维定位系统设计

刘艳 苟健 尹韶云 董小春 史立芳 邓启凌 杜春雷 石瑞英

[摘要]本文提出了一种简单、实用, 基于人工复眼成像的三维定位系统, 给出了人工复眼系统高精度定位机理, 建立了人工复眼成像三维定位系统设计方法。系统采用平面阵列相机作为系统成像主体结构, 每个子相机作为复眼的子眼, ...

 PDF全文光电工程 | 2014, 41(05):89-94

 基于双曲面基底微透镜阵列的半导体激光器整形系统设计

殷智勇 汪岳峰 尹韶云 强继平 雷呈强 孙秀辉 杨凯

[摘要]为了进一步提高半导体激光器整形系统的能量传输效率,提出了基于双曲面基底微透镜阵列的半导体激光器堆栈光束整形系统。双曲面基底微透镜阵列可以同时实现光束的准直与分束双重功能,减少了系统中光学表面的使用量。...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(06):0602016

 基于形状相似性比较法消除拉曼光谱的复杂背景噪声

夏良平 李华栋 尹韶云 吴云峰 史浩飞 杜春雷

[摘要]受到复杂环境中多种背景噪声的干扰,拉曼信号的有效信息易被噪声削弱甚至淹没。利用拉曼信息光谱与背景光谱的形状相似性,通过形状相似性比较法去除背景噪声,结合实验数据介绍该方法的去噪原理与具体步骤。对比发现...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(05):0530003

 长焦深、高分辨激光加工聚焦透镜

王仲勋 潘一鸣 尹韶云 邓启凌 史立芳 杜春雷 吴钦章

[摘要]受限于传统激光加工透镜焦深与焦斑大小的矛盾关系,分辨率与加工深度很难同时获得提升。提出一种通过对不同焦距的菲涅耳透镜相位采样组合形成长焦深、高分辨激光加工聚焦透镜的设计方法。针对10.6 μm的激光加工波长...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(02):0222004

 基于双柱透镜慢轴准直激光二极管堆栈光束匀化系统

殷智勇 汪岳峰 尹韶云 强继平 贾文武 雷呈强 杨凯

[摘要]为实现高功率激光二极管堆栈光束的匀化与整形,提出基于双柱透镜慢轴准直的匀化系统。利用双柱透镜实现对高填充因子激光二极管慢轴方向光束发散角度的压缩,降低成像型多孔径光束积分器中微透镜的数值孔径,减小匀化...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2013, 25(11):2816-2820

 微透镜变化对半导体激光器光束匀化效果的影

殷智勇 汪岳峰 尹韶云 杜春雷 贾文武 王军阵 白慧君

[摘要]为了实现高均匀性的半导体激光器泵浦光源,研究了成像型光束积分器中微透镜的变化对泵浦光均匀性的影响。详细讨论了微透镜数值孔径与入射光束的角度匹配的问题。推导了高斯光束经成像型光束积分器的光场分布模型,分...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2013, 25(10):2556-2560

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