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 微测热辐射计氧化钒薄膜工艺研究

许旻 崔敬忠 贺德衍

[摘要]用射频磁控反应溅射在石英玻璃和硅片上沉积氧化钒薄膜.利用X射线衍射,X射线光电子谱,原子力显微镜,分光光度计和电阻测量手段对沉积薄膜结构、形貌和性能进行了测试.结果表明,沉积薄膜的电阻温度系数大于1.8%/℃,方块...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2003, 22(06):419-422

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