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   将选定结果: 

 全内反射显微技术探测亚表面缺陷新方法研究

崔辉 刘世杰 赵元安 杨俊 刘杰 刘文文

[摘要]亚表面缺陷的检测和去除对于提高光学元件的激光损伤阈值至关重要。结合全内反射显微技术和数字图像处理技术获得光学元件亚表面缺陷信息的新方法,利用显微镜系统的有限焦深,对亚表面缺陷沿深度方向扫描,可以获得不...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(06):0612004

 熔石英再沉积层结构的纳米级表征和杂质分析

杨俊 易葵 魏朝阳 胡国行 崔辉 邵建达

[摘要]利用原子力显微镜观察熔石英不同蚀刻时间的表面形貌,结合二次离子质谱分析,研究了熔石英的再沉积层结构和杂质分布。结果表明,熔石英表面深度10 nm的再沉积层内存在大量微裂纹和杂质,经蚀刻展开形成nm级划痕和坑点...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2014, 26(07):072011

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