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 极紫外、X射线和中子薄膜光学元件与系统

王占山 黄秋实 张众 伊圣振 李文斌 沈正祥 齐润泽 余俊

[摘要]极紫外、X射线和中子光学为现代科学的发展提供了高精度的观测手段,但这些手段的实现需要大量高性能薄膜光学元件和系统的支撑。由于短波长和材料光学常数的限制,短波光学元件的结构、性能和制作技术明显区别于长波光学...

 PDF全文光学学报 | 2021, 41(01):0131001

 大公差宽容度矩形孔准周期阵列实现对高阶衍射的有效抑制

魏来 陈勇 王少义 范全平 张强强 张众 王占山 曹磊峰

[摘要]传统光栅的基础研究和应用研究进展一直备受关注。然而,高阶衍射污染使传统光栅获得的光谱纯度受到严重影响。为了抑制高阶衍射贡献,人们提出了许多单级或准单级光栅的设计方案,但它们对高阶衍射的抑制效果不可避免...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2020, 32(07):072002-72002

 快放电直线型变压器驱动源磁芯脉冲磁化特性

王志国 孙凤举 姜晓峰 梁天学 尹佳辉 魏 浩 张鹏飞 张 众

[摘要]针对25 μm 2605TCA非晶涂层、25 μm 2605SA1非晶夹膜和50 μm DG6硅钢夹膜三种材料和工艺磁芯,对比研究了不同激磁条件下的磁化特性。结果表明:改变磁芯激磁条件,磁通密度变化量(ΔB)几乎不变,DG6硅钢夹膜磁芯和...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2018, 30(07):075001

 非极化中子超镜用NiC薄膜制作技术研究

靳鑫 张众

[摘要]NiC/Ti中子超镜是一种高性能的中子多层膜光学元件,NiC纳米薄膜的制作是实现NiC/Ti多层膜的关键技术。基于Ni和C的直流磁控溅射方法,提出了一种NiC联合溅射靶材的实现方法,并制作了NiC单层膜样品。X射线光电子能谱的测...

 PDF全文光学仪器 | 2017, 39(04):85

 反应溅射气体对Ni、Ti薄膜成膜特性的作用机制

连玉红 张众 黄秋实

[摘要]反应溅射是降低薄膜表面和界面粗糙度的有效手段。为了研究反应溅射过程中氮气(N2)含量对所制备的Ni、Ti单层膜成膜特性的作用机制,利用掺氮气的反应直流磁控溅射方法制备了Ni和Ti的单层膜样品。首先,采用X射线光电子能...

 PDF全文光学仪器 | 2017, 39(01):56

 eXTP望远镜用W/Si多层膜

齐润泽 黄秋实 杨洋 张众 王占山

[摘要]针对增强型X射线时变与偏振探测卫星(eXTP)项目中嵌套式聚焦成像望远镜对柱面镜片上W/Si多层膜的要求,在掠入射角为0.5°,工作波段为1~30 keV条件下,设计了非周期W/Si多层膜并优化了薄膜制备工艺。首先,利用分...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(11):2796

 NiC/Ti中子多层膜的微结构和界面研究

张众 靳鑫 李文斌 黄秋实 王占山

[摘要]NiC/Ti中子超镜是一种高性能的中子多层膜光学元件,是提升中子导管、聚焦装置等中子光学系统的中子利用率的关键之一。为了提升NiC/Ti中子超镜的性能,本文面向具有不同厚度NiC膜层的NiC/Ti多层膜,分别采用X射线掠入...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(11):2859

 13 nm窄带Si/Mo/C多层膜反射镜

易强 黄秋实 王香梅 杨洋 张众 王占山 徐荣昆 彭太平 周洪军 霍同林

[摘要]基于多层膜准单色覆盖50~1500 eV能谱的多能点发射光谱测量系统可获得“聚龙一号”装置Z-pinch等离子体X射线源的能谱结构和总能量等信息。考虑装置的条件,在13 nm处的多层膜需要工作在掠入射角60°。常规的Mo/Si多...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2016, 28(12):122002

 综合寿命和退化信息的导弹状态维修优化决策

张众 徐廷学 杜宸西 阎桂林

[摘要]针对导弹退化监测信息不充分条件下的维修决策问题, 结合导弹实际, 对以维纳模型描述退化过程的导弹部件进行研究。利用贝叶斯方法, 综合历史寿命数据和在线退化监测信息, 建立可更新的剩余寿命预测模型。采用粒子群算...

 PDF全文电光与控制 | 2016, 23(07):101

 Si 间隔层对Al(1 wt.%Si)/Zr 极紫外多层膜热稳定的作用研究(英文)

李嘉 朱杰 张众 齐润泽 钟奇 王占山

[摘要]为了提升Al/Zr多层膜的热稳定性,采用直流磁控溅射方法制备了18个带有不同厚度Si间隔层的Al(1 wt.%Si)/Zr多层膜,并将这些样品分别进行了不同温度(100~500 ℃)的真空退火,退火时间为1 h。利用X射线掠入射反射(GIXR...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(04):1335

 基于Mezei算法的FeCo-Si中子多层膜极化镜优化设计

王俊杰 张众 王占山

[摘要]多层膜极化镜是构成中子极化装置的核心元件,为了实现中子多层膜极化镜的研制,开展了中子多层膜极化镜的设计方法研究。首先阐述了中子多层膜极化镜的原理,基于不同材料的光学特性,提出了中子多层膜极化镜的材料选择方...

 PDF全文光学仪器 | 2015, 37(05):461

 软X射线Mo/B4C多层膜应力和热稳定性研究

徐德超 王海霞 张众 朱杰 连玉红 王占山

[摘要]为了实现7 nm波段Mo/B4C多层膜反射镜元件的制备,研究了不同退火方式对Mo/B4C多层膜应力和热稳定性的影响.首先,采用直流磁控溅射方法分别基于石英和硅基板制作Mo/B4C多层膜样品,设计周期为3.58 nm、周期数为60,Mo膜层...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(06):062001

 开关放电分散性对FLTD模块输出的影响模拟

梁天学 孙凤举 姜晓峰 魏浩 王志国 张众 邱爱慈

[摘要]建立了包含开关放电分散性的电路模型,模型通过电压控制开关和自击穿开关模型的结合,可对开关抖动及支路间放电的相互影响进行模拟,利用研制的300 kA单级直线型变压器驱动源(FLTD)模块进行了实验验证,模拟结果与实...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2014, 26(10):105001

 Al/Zr多层膜生长模型和数值计算

杨传春 钟奇 张众

[摘要]在17~19 nm波段, 利用直流磁控溅射技术将Al(1%wtSi)/ Zr多层膜镀制在掺氟的二氧化硅基底上, 基于原子力显微镜对不同膜对数(N=10, 40, 60, 80)表面粗糙度的测量结果, 将多层膜的生长模型应用于实际结果中, 对表面均方...

 PDF全文光学仪器 | 2013, 35(01):89-94

 低原子序数材料窄带多层膜的研制

吴文娟 朱京涛 张众 王风丽 陈玲燕 周洪军 霍同林

[摘要]为研制极紫外波段窄带多层膜反射镜,采用低原子序数材料组合设计了30.4 nm波长处Mg/SiC,Si/SiC,Si/B4C和Si/C多层膜反射镜,并与极紫外波段传统的Mo/Si多层膜反射镜进行对比。采用直流磁控溅射技术制备了这些多层膜...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2012, 24(08):1785-1788

 直线变压器驱动源感应腔电路建模方法

魏浩 刘鹏 孙凤举 尹佳辉 王志国 姜晓峰 梁天学 刘志刚 邱爱慈 张众

[摘要]参照研制成功的300 kA直线变压器驱动源单级感应腔的物理设计和电气参数,在考虑气体开关火花通道电阻、放电支路间电磁耦合、磁芯磁滞及饱和特性、次级功率传输的情况下,建立了较完备的单级感应腔电路模型。实验验证...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2012, 24(05):1201-1205

 环形电极单间隙电晕放电伏安特性

姜晓峰 梁天学 王志国 孙凤举 丛培天 尹佳辉 魏浩 张众

[摘要]基于用于直线变压器型驱动源的多间隙气体开关结构,提出一种环形放电间隙与电晕针并联的气体火花间隙。通过测量间隙耐压过程中电晕放电的伏安特性,研究了气体介质、气压、电晕极性、电晕针长度以及针尖对应电极结构...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2012, 24(04):835-838

 300 kA直线型变压器驱动源模块实验研究

梁天学 姜晓峰 孙凤举 王志国 刘志刚 尹佳辉 魏浩 张众 邱爱慈

[摘要]介绍了14支路并联的300 kA百ns直线型变压器驱动源单级模块的结构和关键部件。模块通过采用双端引出电极电容器以及小型多间隙串联气体火花开关,可以并联更多的支路数,减小回路电感,提高储能密度;通过采用非晶磁芯...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2012, 24(03):655-658

 快放电直线型变压器驱动源磁芯脉冲损耗特性

王志国 孙凤举 邱爱慈 姜晓峰 梁天学 尹佳辉 刘鹏 魏浩 张鹏飞 张众

[摘要]建立了快脉冲磁芯损耗特性测试平台,对比研究了50 μm的DG6硅钢和25 μm的2605TCA非晶两种材料磁芯损耗特性;采用一种新的特征参量(磁芯单位面积上激磁电压陡度)来规范磁芯的激磁电压条件,使得实验结果与快放电直线...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2012, 24(03):524-528

 低抖动快前沿高电压重复率触发器

尹佳辉 曾江涛 孙凤举 张众 魏浩 刘志刚 姜晓峰

[摘要]介绍了一种低抖动、快前沿高电压重复率触发器,输出参数为:重复率可达100 pulse/s,输出时延约225 ns,抖动约1 ns,前沿约26 ns,脉宽约70 ns,高阻负载上电脉冲的峰值可达-40 kV,重复率为50 pulse/s时,峰值可达-...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(10):2836-2840

 14 nm低原子序数材料多层膜的设计和制备

吴文娟 张众 朱京涛 王风丽 陈玲燕 周洪军 霍同林

[摘要]为了减小常规多层膜的带宽,提高其光谱分辨率,对采用低原子序数材料组成的适用于极紫外和软X射线波段的多层膜进行了研究。首先,在14 nm波长处选取3种低原子序数材料对Si/B4C,Si/C和Si/SiC组成多层膜,用随机搜索的...

 PDF全文光学 精密工程 | 2011, 19(06):1192-1198

 极紫外、软X射线与X射线波段非周期多层膜研究进展

王占山 朱京涛 穆宝忠 张众 王风丽 程鑫彬 王芳芳 陈玲燕

[摘要]本文综述了非周期多层膜的最近研究进展。围绕中国硬X射线天文望远镜,同步辐射偏振测量,极紫外太阳观测,稠度等离子诊断等应用,研究了一系列新奇的具有特殊性能的非周期多层膜元件。采用各种多层膜结构,设计,制备...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):163

 用于X射线纳米聚焦的多层膜Laue透镜

朱京涛 黄秋实 李浩川 徐敬 王晓强 张众 王占山 陈玲燕

[摘要]针对入射光为8keV的X射线,设计了最外层宽度为15nm的多层膜Laue透镜。Laue透镜外层理论衍射效率达到60%,聚焦分辨率达到10.5nm。利用直流磁控溅射成功制备了总层数为324、总厚度为7.9μm的WSi2/Si多层膜Laue透镜。镀...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):174

 低亚表面损伤石英光学基底的加工和检测技术

马彬 沈正祥 张众 贺鹏飞 季一勤 刘华松 刘丹丹 王占山

[摘要]制备低亚表面损伤的超光滑光学基底,是获得高损伤阈值薄膜的前提条件。针对石英材料在不同加工工序中引入亚表面损伤层的差异,首先利用共焦显微成像结合光散射的层析扫描技术,对W10和W5牌号SiC磨料研磨后的亚表面缺...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2010, 22(09):2181-2185

 磁控溅射方法制备直径120 mm高均匀性Mo/Si多层膜

潘磊 王晓强 张众 朱京涛 王占山 李乙洲 李宏杰 王道荣 赵巨岩 陆伟

[摘要]为满足极紫外、软X射线和X射线大口径多层膜反射镜的需求, 采用基板扫掠过矩形靶材表面的镀膜方法, 在直径120 mm的平面基板上镀制了Mo/Si周期多层膜。通过调整基板扫掠过矩形靶材表面的速率修正了薄膜的沉积速率, 极大...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2010, 22(07):1535-1538

 磁控溅射制备Ni/Ti多层膜表面粗糙度

潘磊 朱京涛 王晓强 蒋励 李浩川 徐敬 张众 王占山 陈玲燕

[摘要]采用磁控溅射方法制备了周期数分别为10, 30, 50和75的Ni/Ti多层膜, 利用X射线掠入射反射测量了多层膜表面和界面的状态, 并用原子力显微镜测量了多层膜的表面粗糙度, 研究了不同周期数的Ni/Ti多层膜表面粗糙度的变化规...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2010, 22(06):1239

 触发电压对±100 kV多级多通道开关性能的影响

梁天学 孙凤举 邱爱慈 曾江涛 刘轩东 姜晓峰 刘志刚 尹佳辉 张众

[摘要]研制了一种用于快脉冲直线型脉冲变压器的±100 kV多级多通道火花开关, 研究了触发电压极性、幅值对多级多通道火花开关触发性能的影响, 分析了不同触发电压下开关各部分延时及抖动。研究结果表明:触发电压的极性...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2010, 22(05):1177-1180

 感应电压叠加器驱动阳极杆箍缩二极管型脉冲X射线源

孙凤举 邱爱慈 杨海亮 曾江涛 盖同阳 梁天学 尹佳辉 孙剑锋 丛培天 黄建军 苏兆峰 高屹 刘志钢 姜晓峰 李静雅 张众 宋顾舟 裴明敬 牛胜利

[摘要]介绍了自行研制的用于闪光照相且基于感应电压叠加器和阳极杆箍缩二极管的X射线源的组成、结构和主要参数。输出电压3 MV的Marx发生器给阻抗7.8 Ω水介质脉冲形成线充电,产生脉宽约70 ns,电压约1 MV的高功率脉冲,经过峰...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2010, 22(04):936-940

 叠片法测量脉冲X射线源焦斑

高屹 马继明 张众 张鹏飞 孙江 王志国 尹佳辉 梁天学 杜泰斌

[摘要]介绍了叠片法测量脉冲X射线源焦斑的原理。对确定结构和尺寸的金属、薄膜叠片及测试系统布局, 数值计算了叠片法的空间分辨及对均匀分布线光源的输出响应, 得到响应曲线半高宽与焦斑尺寸的对应关系。计算结果表明, 叠片...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2010, 22(12):3057-3061

 X射线反射和散射方法研究界面粗糙度对具有不同膜对数的W/B4C周期多层膜反射率的影响

代敏 张众 朱京涛 王晓强 徐敬 付秀华 白亮 黄秋实 王占山 陈玲燕

[摘要]本文研究了界面粗糙度对不同膜对数(N)的W/B4C周期多层膜反射率的影响。首先,利用real-structure模型,模拟周期为D=2.5nm,N=50、100、150和200的W/B4C周期多层膜对Cu Kα线的反射率。其次,采用直流磁控溅射方法实...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2009, 7(08):738

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