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 248 nm透过率线性渐变光学薄膜的设计与制备

朱瑞 陶春先 余振 张伟丽 易葵

[摘要]线性渐变透过率薄膜元件是光刻系统中光可变衰减器的关键元件。采用电子束蒸发实现了近线性248 nm渐变透过率光学薄膜的设计与制备。通过对敏感度进行计算和优化,基于减反膜基础膜系实现了低敏感非规整膜系的设计。采用...

 PDF全文中国激光 | 2020, 47(06):0603001

 反应电子束蒸发HfO₂薄膜的结构、光学、化学和抗激光损伤特性

余振 张伟丽 朱瑞 齐红基

[摘要]采用反应电子束蒸发技术在不同氧分压下制备了HfO2薄膜,并采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、椭圆偏振仪、X射线光电子能谱仪、1064 nm弱吸收测试仪、1064 nm激光1-on-1损伤测试系统等,对HfO2薄膜的结构、光学性能、化...

 PDF全文中国激光 | 2020, 47(04):0403002

 高性能偏振膜的研制

朱美萍 孙 建 张伟丽 赵元安 刘晓凤 赵娇玲 易 葵 邵建达

[摘要]综述了国内外科研人员在高性能偏振膜的研制方面开展的工作, 主要涉及偏振膜光谱性能、抗激光损伤阈值和膜层应力控制等方面的研究。针对我国神光系列装置对偏振膜的性能要求, 简述了中国科学院上海光学精密机械研究所...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(12):2908

 长距离外参数标定误差分析

王卫文 周 进 张伟丽 刘秦娟 吴钦章

[摘要]针对长距离时外参数标定实际操作难度较大，本文将标定靶杆作为外参数标定的媒介，而后采用双目交会方法进行相关精度验证。通过分析标定靶杆上合作标志物的世界基准坐标系坐标误差对相机内外参数的影响，从而确定最终...

 PDF全文光电工程 | 2015, 42(11):13

 基于灰度导数加权的椭圆高精度提取算法

王卫文 杨威 张伟丽 周进 吴钦章

[摘要]为了满足姿态测量时对椭圆合作目标的高精度定位要求, 提出了一种基于灰度导数加权的椭圆拟合算法(WGG)。首先, 在进行预处理之后的二值图像上提取初始边缘点, 采用简单的代数拟合方法得到椭圆参数; 其次, 考虑二值化过...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(02):299

 532 nm HfO₂/SiO₂高反膜的激光预处理效应

刘杰 张伟丽 朱美萍

[摘要]采用单台阶能量光栅扫描以及R-on-1测试两种不同预处理方式研究了激光预处理技术对532 nm HfO2/SiO2高反膜的阈值提升效果。用Nd: YAG二倍频激光对电子束蒸发制备的532 nm HfO2/SiO2高反膜进行1-on-1损伤阈值测试, 然后...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(03):032034

 不同基底上HfO₂/SiO₂多层膜的力学性能

王河 贺洪波 张伟丽

[摘要]用电子束蒸发技术在K9玻璃及YAG晶体上沉积了HfO2/SiO2多层膜，采用纳米划痕仪对薄膜的力学性能进行了研究。实验结果表明：沉积在YAG和K9的多层膜弹性模量分别为34.8 GPa和38.5 GPa, 基底对薄膜的弹性模量影响较小；Y...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(07):0707003

 离子束技术对氧化铪薄膜性能的影响

刘丰 张伟丽 晋云霞

[摘要]在基底清洗、薄膜沉积和薄膜后处理三个阶段均采用离子束技术，制备了氧化铪薄膜，并对薄膜的光学性能、表面特性和激光损伤阈值特性进行测试和研究。结果表明，利用离子束技术清洗基底可以增强表面吸附；离子束辅助沉...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(06):1548-1552

 不同类型色散镜的设计和分析

王胭脂 邵建达 张伟丽 魏朝阳 黄建斌 晋云霞 易葵 范正修

[摘要]分别设计和讨论了三种不同类型的色散镜。第一种是啁啾镜对，通过变化色散振荡周期，在波长550-1050nm的范围内提供光滑的群延迟色散(group delay dispersion,GDD)；第二种是高色散镜，结合chirped mirrors（CM） 和 G...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):18

 高性能偏振薄膜的制备

朱美萍 易葵 张伟丽 范正修 贺洪波 邵建达

[摘要]偏振薄膜的分光特性对膜层厚度非常敏感，本文对一个规整膜系偏振膜的敏感层进行了优化，在不增加总的膜层层数和厚度的情况下增加了偏振膜的带宽；建立了一套膜厚自动控制系统，并对不同的控制方法引起的误差进行了分...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(06):624

 紫外Sc₂O₃薄膜的光学和结构性能表征及其激光作用下的损伤机理

刘光辉 薛春荣 晋云霞 张伟丽 方明 贺洪波 范正修

[摘要]利用电子束蒸发方法, 在不同沉积温度 (50~350 ℃)下制备了Sc2O3薄膜。分别用分光光度计, 小角掠入射X射线衍射仪和轮廓仪测试了薄膜样品的光谱、微结构和表面粗糙度信息, 并用薄膜分析软件Essential Macleod计算了Sc2...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2010, 22(08):1766-1770

 Gires-Tournois负色散镜误差分析

王胭脂 邵建达 晋云霞 黄建兵 张伟丽 董洪成 贺洪波 范正修

[摘要]负色散镜的色散补偿性能对设计和制备的精度要求都非常高, 折射率和薄膜物理厚度是其性能准确实现的必要参数。实验设计并镀制了Gires-Tournois(G-T)镜, 结合电场强度分布及薄膜的群延迟色散(GDD)、扫描电镜的测量结果...

 PDF全文中国激光 | 2009, 36(06):1563-1568

 Sc₂O₃替代层在532 nm高反膜中的应用

刘光辉 方明 晋云霞 张伟丽 贺洪波 范正修

[摘要]将Sc2O3替代层引入到532 nm高反膜(HfO2/SiO2)n中,利用Sc2O3在盐酸中具有较好的溶解性这个特点,把膜层与基片脱离,以方便基片返修,缩短返修周期,降低成本。能量色散谱元素测试表明,脱离后Sc元素残留率为0。用Lamada900...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2009, 21(10):1476-1480

 SiO₂薄膜折射率的准确拟合分析

王胭脂 张伟丽 范正修 黄建兵 晋云霞 姚建可 邵建达

[摘要]精确的光学常数对于设计和制备高品质的光学薄膜非常重要,尤其是那些光学性能对折射率变化敏感的薄膜。SiO2是一种常用的低折射率材料,因与常用基底折射率相近使其准确拟合有一定难度。实验通过离子束溅射制备了SiO2单...

 PDF全文中国激光 | 2008, 35(05):760-763

 电子束蒸发制备平板偏振膜激光损伤特性研究

毕军 黄建兵 占美琼中国科学院上海光学精密机械研究所 上海 201800 张伟丽 易葵

[摘要]采用电子束蒸发沉积技术制备了平板偏振膜。用Lambda900分光光度计测试了其光学性能。在中心波长1053 nm处P偏振光的透过率TP>98%,S偏振光的透过率TS200:1,带宽约为20 nm。用波长1064 nm,脉宽12 ns的脉冲激光进行损...

 PDF全文中国激光 | 2006, 33(06):837-841

 HfO₂薄膜的结构对抗激光损伤阈值的影响

高卫东 张伟丽 范树海 张大伟 邵建达 范正修

[摘要]利用蒸发氧化铪和离子辅助蒸发金属铪反应沉积氧化铪薄膜,对两种工艺下制备的氧化铪薄膜进行光学和结构以及激光损伤特性的研究.实验结果表明,用金属铪反应沉积的氧化铪薄膜不仅结构均匀,并且具有较高的激光损伤阈值.文...

 PDF全文光子学报 | 2005, 34(02):176-179

 脉宽压缩光栅用的多层膜设计和性能分析

孔伟金 邵建达 张伟丽 方明 范瑞瑛 范正修

[摘要]应用于啁啾脉冲放大技术中的脉宽压缩光栅是基于多层膜作为基底,利用全息干涉技术和离子束技术刻蚀而成。脉宽压缩光栅的衍射效率和抗激光损伤阈值一方面依赖于光栅结构的设计,另一方面很大程度上取决于作为基底的多层...

 PDF全文光学学报 | 2005, 25(05):701-706

 新型噁二唑有机电致发光小分子光电性质研究

张明龙 夏义本 李敏 王林军 张伟丽

[摘要]通过升降温差热分析(DSC)曲线、偏光显微镜、紫外吸收光谱、电化学行为曲线以及多层器件等,研究了噁二唑衍生物小分子的电学和光学性质,发现其同时具有液晶性、电子和空穴传输性、发光性等优良性能.引进R-OXD(En)层后的...

 PDF全文光子学报 | 2003, 32(06):672-675

 生长条件和退火对金刚石薄膜光学性质的影响

马哲国 夏义本 王林军 方志军 张伟丽 张明龙

[摘要]提出一种分析微波等离子体化学气相沉积工艺条件对金刚石薄膜的组成和光学性质影响的方法。采用红外椭圆偏振光谱仪来分析Si衬底上金刚石薄膜的组成和光学性质,研究微波等离子体化学气相沉积法生长条件和退火工艺对金刚...

 PDF全文光学学报 | 2003, 23(08):989-992

 金刚石薄膜红外椭圆偏振参量的计算与拟合

方志军 夏义本 王林军 张伟丽 张明龙 马哲国

[摘要]用红外椭圆偏振仪对热丝化学气相沉积法制备的金刚石薄膜的光学参量进行了测量。由于表面状态和界面特性的差异,分别对镜面抛光硅片和粗糙氧化铝基片上的金刚石薄膜建立了不同的模型,并在此基础上进行了测试结果的计算...

 PDF全文光学学报 | 2003, 23(12):1507-1512