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   将选定结果: 

 深紫外CMOS图像传感器测试匀光系统设计

李琦 齐月静 卢增雄 张清洋 马敬 杨光华 苏佳妮

[摘要]匀光系统的均匀性是实现深紫外CMOS图像传感器参数测试的关键。根据傅里叶光学理论, 结合ArF准分子激光输出光斑特点, 设计了复眼阵列匀光系统的初始结构, 并在ZEMAX非序列模式下建立了匀光系统模型。针对ZEMAX光源中光...

 PDF全文半导体光电 | 2020, 41(03):395

 光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计

马敬 齐月静 卢增雄 苏佳妮 杨光华 齐威 张清洋 陈进新

[摘要]根据光谱共焦位移传感器的工作原理及线性轴向色散条件,选择3种色散物镜用玻璃材料N-KZFS11、N-SF66和N-PK52A,并结合像差理论设计了由3个单透镜和2个双胶合透镜组合成的线性色散物镜初始结构。利用Zemax光学设计软件对...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(07):0704009

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